Gebraucht OXFORD Plasmalab 800 Plus #293606951 zu verkaufen

ID: 293606951
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 800 Plus ist eine fortschrittliche, hochpräzise optische Maske Aligner Ätzer und Ascher. Es ist für den Einsatz bei der Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen und photonischen Bauelementen konzipiert. Plasmalab 800 Plus bietet ein vielseitiges Werkzeug für Maskenausrichtungsanwendungen, mit dem Benutzer Ionenätz-, Aschen- und Reinigungsschichten integrierter Schaltungen mit einer einzigen Ausrüstung ätzen, reaktionsfähig machen können. OXFORD Plasmalab 800 Plus ist mit einer großen Prozesskammer konzipiert, die es ermöglicht, Geräte zu prototypisieren und herzustellen, die optische Masken-Ausrichtungstechniken verwenden. Die Kammer ist in der Lage, innerhalb einer kontrollierten Vakuumumgebung zu ätzen, reaktives Ionenätzen (RIE), Aschen, Vakuumabscheidung und andere Prozesse. Der optische Maskenausrichter verwendet einen vollkreisslavierbaren Spiegelabtastmechanismus, der eine stabile, hochauflösende Ausrichtung optisch gemusterter Masken auf das geätzte Substrat ermöglicht. Darüber hinaus verwendet das System auch ein leistungsfähiges Waferboot, das eine schnelle und genaue Positionierung von Substraten und Masken ermöglicht. Neben den grundlegenden Maskenausrichtungs- und Ätzfunktionen bietet Plasmalab 800 Plus auch erweiterte Funktionen. Die Einheit verfügt über einen kontrollierten RIE-Prozess, um die Gleichmäßigkeit der geätzten Merkmale über das Substrat zu gewährleisten. Die Maschine ist auch in der Lage, streng kontrollierte Ozon-, Sauerstoff- und Stickstoffreinigungsprozesse, so dass Benutzer zu reinigen und zu verarbeiten Geräte mit einem einzigen Werkzeug. Darüber hinaus ermöglicht das Asset Benutzern auch das teilweise Ätzen von Prozessschichten mit Ätzselektivität. Schließlich nutzt OXFORD Plasmalab 800 Plus ein intuitives Bedienungsmodell, mit dem Benutzer schnell eine Vielzahl von Prozessparametern programmieren und den Ätzprozess in Echtzeit überwachen können. Diese Eigenschaften ermöglichen eine schnelle, effiziente und kostengünstige Herstellung von Geräten mit optischer Maskierungstechnologie.
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