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OXFORD Plasmalab 800 Plus #293615031
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Plasmalab 800 Plus

PECVD System Missing parts: Gasbox Computer missing.
193
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OXFORD Plasmalab 800 Plus #293620207
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Plasmalab 800 Plus

PECVD System Gas configuration: NH3 50 SCCM SiH4 5% N2 95% 1SLM N2O 200 SCCM N2 2000 SCCM CF4 80%
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OXFORD Plasmalab 800 Plus #9404272
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