Gebraucht OXFORD Plasmalab 800 Plus #9250156 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 800 Plus ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der speziell entwickelt wurde, um wiederholbare Ätzraten und eine gleichmäßig geätzte Oberfläche auch auf Oberflächen mit anspruchsvollen Geometrien zu erreichen. Plasmalab 800 Plus wird von einer Stromquelle angetrieben, die Hochleistungs-Plasma mit geringem Rauschen in die Prozesskammer liefert. Das System verfügt auch über einen fortschrittlichen optischen Sensor, der eine effiziente Detektion, Messung und Analyse von Offenkreispotential und reaktiver Abscheiderate ermöglicht, so dass der Benutzer den Ätzprozess präzise steuern kann. OXFORD Plasmalab 800 Plus verfügt über eine intelligente softwaregesteuerte Prozesskammer mit einer Vielzahl von Prozessparametern, die mit einer integrierten Vakuumpumpe, Wasserkühlung und Ölnebelrückgewinnungssystemen Bedingungen für eine sicherste und effizienteste Materialätzung schaffen. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von empfindlichen Materialien weitgehend in mikroelektronischen Anwendungen, einschließlich Silizium und Galliumarsenid zu ätzen. Darüber hinaus verfügt Plasmalab 800 Plus über einen globalen Verschluss, der eine In-situ-Blendensteuerung ermöglicht und Flexibilität für jeden Zeitraum des Ätzens bietet. Der AC-Ausgang des Netzteils ist von 0 bis 100% einstellbar und bietet volle Kontrolle über den Prozess. Der wirksame vertikale Spalt der Ätzkammer weist eine Toleranz von 0,2 mm auf. Die drei wichtigsten Ätzmethoden, die von OXFORD Plasmalab 800 Plus unterstützt werden, sind planares Ätzen, Rasterätzen und Blindätzen. Sowohl planare als auch Rasterätzungen erfordern einen X-, Y- und Theta-Koordinatenscan. Beim Blindätzen wird der Theta-Scan durch eine Einzelpunktmessung ersetzt. Die planare Ätzmethode eignet sich am besten zum Ätzen von Schichten mit höheren Seitenverhältnissen, während die Rasterätzung am besten auf dichten Schichten mit kleinen Seitenverhältnissen angewendet wird. Blindätzen können für Ebenen mit großen Seitenverhältnissen und Schichten mit hohem Seitenverhältnis ohne feine Merkmale verwendet werden. Die Sicherheit des Benutzers wird durch drei Hauptsicherheitsmerkmale gewährleistet: das Interlock-System, in dem sich die Prozesskammertür nicht öffnet, es sei denn, der Ätzprozess wird gestoppt, ein Lecksensor zur Erkennung der unter Druck stehenden Partikel und Chemikalien und der Ultraschallsender/-empfänger. All diese Merkmale gewährleisten maximale Sicherheit bei Ätzprozessen. Wenn Plasmalab 800 Plus Auto-Save nicht verwendet wird, werden alle Prozessparameter zusammen mit den Signaturen des von ihnen erzeugten Ätzprozesses gespeichert. Diese Funktion ermöglicht es dem Benutzer, vorherige Ätzprozesse mit minimalem Aufwand zu wiederholen. Es überwacht auch den Prozessstatus, so dass der Benutzer Ätzleistungen vor Produktionsstart auswerten kann.