Gebraucht OXFORD Plasmalab 800 Plus #293620207 zu verkaufen

ID: 293620207
PECVD System Gas configuration: NH3 50 SCCM SiH4 5% N2 95% 1SLM N2O 200 SCCM N2 2000 SCCM CF4 80% O2 20% 500 SCCM.
OXFORD Plasmalab 800 Plus Ätzer/Ascher ist eine leistungsstarke, kostengünstige Ätz- und Aschemaschine für Anwendungen in der Mikroelektronik und in der Forschung. Das große Arbeitsvolumen von 7,5 Litern ermöglicht es Benutzern, bis zu vier Wafer gleichzeitig zu ätzen und zu aschen, während der niedrige Basisdruck von 3 mTorr es für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen geeignet macht. Plasmalab 800 Plus verfügt über ein fortschrittliches Elektroniksystem mit einer intuitiven Benutzeroberfläche, mit der Benutzer ihre Ätz- und Ascheprozesse konfigurieren und anpassen können. Dazu gehört ein Rezept-Editor, mit dem Benutzer ihre Ätz- und Ashing-Parameter einrichten und auf bestimmte Anforderungen abstimmen können. Die integrierten Massenstromregler im Aggregat sorgen dafür, dass der Gasstrom stets in richtigen Verhältnissen und mit der richtigen Reinheit zugegeben wird. OXFORD Plasmalab 800 Plus bietet eine Vielzahl von Ätz- und Aschechemikalien für eine Vielzahl von Anwendungen wie Oxidätzen, Passivierung und Aktivierung. Seine Drei-Kammer-Konstruktion ermöglicht eine Vielzahl von Ätzkonfigurationen, mit mehreren Prozessoptionen einschließlich induktiv gekoppelter Plasmaquelle und Glimmentladungsquelle. Darüber hinaus bietet die Maschine eine Vielzahl weiterer nützlicher Funktionen, wie eine Eyesafe-Laserquelle für die Waferausrichtung, eine manuelle Quelle für die Probenausrichtung und eine eigene Aschekammer. Das Werkzeug kann vollautomatisiert mit der OXFORD Plasmalab IC Software betrieben werden, die den Anwendern die vollständige Kontrolle über ihre Ätz- und Aschesequenzen bietet. Die Software ermöglicht es dem Anwender, eigene Rezepte einzurichten und den Prozess in Echtzeit zu überwachen, mit einer Vielzahl von Alarm- und Sicherheitsfunktionen, die an ihre Bedürfnisse angepasst werden können. Insgesamt bietet Plasmalab 800 Plus Anwendern eine zuverlässige und kostengünstige Möglichkeit, ihre Materialien mit Präzision und Genauigkeit zu ätzen und zu veredeln. Die erweiterten Funktionen, die intuitive Benutzeroberfläche und die automatisierten Funktionen machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für viele Anwendungen in der Mikroelektronik- und Forschungsindustrie.
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