Gebraucht OXFORD Plasmalab 800 Plus #9404272 zu verkaufen

ID: 9404272
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 800 Plus ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher zur Behandlung und Ätzung einer breiten Palette von Materialien. Es bietet eine hohe Präzision und Genauigkeit für die Verarbeitung empfindlicher Materialien und ist für extreme Sauberkeit und optimale Prozesskontrolle ausgelegt. Es ist in der Lage zu ätzen, Aschen, Sputtern und eine breite Palette von anderen Anwendungen mit vorprogrammierten Betriebsabläufen und eine Vielzahl von programmierbaren Parametern. Der Oxfod Plasmalab 800 Plus wurde entwickelt, um einen hohen Durchsatz zu bieten und den Eingriff des Bedieners während der Prozesse zu minimieren. Die Prozesskammer hat ein Vakuum von bis zu 100 mbar und ein Innenvolumen von 23 Litern, geeignet für Proben von bis zu 300 mm Größe. Dies ermöglicht die großflächige Abscheidung von Dünnschichten oder die Verarbeitung von mikroelektronischen Geräten mit wiederholbarer Gleichmäßigkeit und hohem Durchsatz. Der leicht zugängliche Frontplatten-Applikationsmodus umfasst Rezepte zum Ätzen und Aschen verschiedener Materialien wie Metalle, Halbleiter und Keramik sowie maßgeschneiderte Rezepte für spezifischere Prozesse. Das integrierte Antriebssystem ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessbedingungen, wobei Druck, Temperatur, Durchfluss und Basisdruck unabhängig überwacht und gesteuert werden, um die Prozessleistung zu optimieren und Verschmutzungen zu minimieren. Die erweiterte Benutzeroberfläche ermöglicht die Fernbedienung und Überwachung von Prozessparametern in Echtzeit und ermöglicht die Online-Steuerung der Prozessschritte. Alle Einstellungen und Programmänderungen können über den Webserver remote abgerufen werden. Damit ist eine vielseitige Implementierung neuer Prozesse oder eine routinemäßige Wartung von Hardware ohne Personal vor Ort möglich. Die Rückwand von OXFORD Plasmalab 800 Plus bietet Platz für bis zu 20 Prozessgase, die beim Ätzen und Aschen ausgewählt und gesteuert werden können. Zu den weiteren Funktionen gehört eine leistungsstarke Datenprotokollierungsfunktion, die im Wesentlichen ein integrierter programmierbarer Datenlogger ist und eine Prozessoptimierung während der Experimente und des Betriebs ermöglicht. Plasmalab 800 Plus wurde entwickelt, um die Betriebszeit zu reduzieren und die Betriebskonsistenz zu verbessern. Mit seinem hohen Durchsatz und der großvolumigen Kammer ermöglicht dieses Ätz-/Aschesystem den Anwendern, schnell neue Verfahren zur Herstellung und Ätzung von Geräten im Mikromaßstab zu entwickeln. Seine benutzerfreundliche Oberfläche macht es einfach zu bedienen und zu programmieren, so dass zuverlässige, konsistente und effiziente Operationen gewährleistet sind.
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