Gebraucht PLASMATHERM 790 Series #9308031 zu verkaufen

PLASMATHERM 790 Series Etcher/Asher ist eine vielseitige fortschrittliche Abscheide- und Ätzausrüstung für fortschrittliche Anwendungen wie Dünnschichtätzen und Elektromigration. Es bietet eine hohe Plasmadichte und Flexibilität zur Optimierung des Oxidätzens, durch Ätzen und flache Grabenisolierung (STI). Es verwendet eine parallele Plattenplasmakonfiguration, die leicht programmiert werden kann, um eine präzise Steuerung von Prozessparametern zu erreichen. Die Kammer des Systems ist aus Edelstahl gefertigt und wird erwärmt, um eine gleichmäßige Wärmeverteilung und Prozessstabilität zu gewährleisten. Die Vorderseite der Kammer ist mit Laderegler zum Be- und Entladen von Proben, zwei Bandsockeln für den Substratträger und einem Substrathaltemechanismus mit verstellbaren Schaufeln ausgestattet, um dem Substrat eine gleichmäßige Plasmaverteilung zuzuführen. Die 790 Series Etcher/Asher ist mit einem Paar Touchscreen-Bedienelementen und einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche ausgestattet, die eine einfache Bedienung des Geräts ermöglicht. Es verwendet einen redundanten Massenstromregler, um den Gasfluss genau zu steuern und eine beispiellose Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Benutzer können Ätzprozessparameter anpassen, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Es zeigt auch eine Industrie, die energiereiche Hochdruckstromversorgung der Radiofrequenz (RF) führt, die bis zu 130 Watt der Macht erzeugen kann, der Maschine erlaubend, sicher und effizient verwendet zu werden. Ein robustes Kühlwerkzeug sorgt für eine genaue Prozesstemperaturkontrolle während des Ätzprozesses, während eine fortschrittliche Vakuumanlage während des gesamten Prozesses eine ultra-saubere Umgebung gewährleistet. PLASMATHERM 790 Serie Etcher/Ascher ist in der Lage, bei hohen Temperaturen und Drücken zu arbeiten, so dass es ideal zum Ätzen und Glühen von empfindlichen Materialien wie Silizium und Quarz. Das Modell bietet auch optionale erweiterte Tiefenfunktionen für Asche- und Ablagerungsprozesse. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, bis zu 15 „x 16“ Zoll Substrat zu unterstützen, die das System für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet macht. 790 Series Etcher/Asher ist ideal für Forschung, Fertigung und Engineering-Anwendungen, einschließlich der Herstellung von Durchsiliziumvias (TSV) und integrierten 3D-Schaltungen, TFTs und Dünnschichtätzen und -abscheidung. Das Gerät eignet sich auch ideal für den Einsatz in der Halbleiter-, MEM- und optischen Industrie und ist damit eines der modernsten Ätz- und Abscheidungssysteme auf dem Markt.