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PLASMATHERM 790 Series
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PLASMATHERM 790 Series #293724143

PLASMATHERM

790 Series

Reactive Ion Etcher (RIE), 8" Turbo pump: 10^-5 Torr Right chamber: CHF3 (54 SCCM) O2 (20 SCCM) H2
64
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PLASMATHERM 790 Series #9382215

PLASMATHERM

790 Series

Reactive Ion Etcher (RIE) / PECVD System.
128
PLASMATHERM 790 Series #9382207

PLASMATHERM

790 Series

Reactive Ion Etcher (RIE) / PECVD System.
126
PLASMATHERM 790 Series #293750741

PLASMATHERM

790 Series

PECVD System.
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