Gebraucht PLASMATHERM 790 Series #9382215 zu verkaufen

ID: 9382215
Reactive Ion Etcher (RIE) / PECVD System.
Die PLASMATHERM 790 Serie ist eine anspruchsvolle Ätz- und Aschemaschine für den Einsatz in einer Vielzahl von nanotechnologischen Anwendungen. Seine einzigartige Kombination aus Prozesssteuerung, Ressourcensparsamkeit und Energieeffizienz macht es zum idealen Gerät für hochpräzise Ätz- und Ascheoperationen. 790 Serie verfügt über eine Plasmaquelle zur Erzeugung von hoch kontrollierbarem, hochreinem Plasma zum Ätzen und Aschen von Substraten. PLASMATHERM 790 Serie enthält eine Reihe von präzisen Prozeßkontrollparametern, um die genaue Steuerung von Plasmaparametern zu ermöglichen, einschließlich Leistung, Pulsrate, Pulsbreite, Ätzzeit, Ätztiefe, Aschezeit, Aschetiefe, Reaktantenstrom und Einspritzrate. Diese Steuerung kombiniert mit dem extrem niedrigen Vakuumspiegel von 10-2 mBarr. und einem extrem kurzen sauberen Ablauf von nur 3 Minuten machen es ideal für Anwendungen mit hohem Durchsatz. Die 790-Serie ist hocheffizient und ressourcenschonend. Es wird von einem Niederspannungsnetzteil gespeist und verfügt über erweiterte Stromsparfunktionen. Die moderne SPS-Steuerung bietet eine optimierte Prozesssteuerung und eine präzise Steuerung der Prozessparameter. Die SPS-Schnittstelle ist benutzerfreundlich und die grafische Bedienung ermöglicht eine schnelle Prozesseinrichtung. Sicherheit hat oberste Priorität. PLASMATHERM 790 Serie bietet eine fortschrittliche Brand- und Rauchmeldeanlage und eine Fernabschaltung. Das Werkzeug wird mit einem Klappdeckel geliefert, der mit einem Kontaktschalter zur Bedienersicherheit ausgestattet ist. Die Infrarot-Temperaturerfassung ist auch für die Prozessüberwachung und -steuerung implementiert. 790 Serie verfügt über eine breite Palette von Prozess- und Steuerungsoptionen, die es zu einem idealen Gerät für eine Vielzahl von Benutzeranforderungen machen. Die integrierte Diagnoseanlage und die umfangreichen E/A-Funktionen ermöglichen eine einfache Integration in bestehende Labor-, Fertigungs- und Produktionslinien. Dieses benutzerfreundliche Modell ist mit einer Vielzahl von Substraten kompatibel.
Es liegen noch keine Bewertungen vor