Gebraucht PLASMATHERM SLR 720 / 720 #293654493 zu verkaufen
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ID: 293654493
Weinlese: 1998
Dual chamber Reactive Ion Etch (RIE)
Robot loader
(9) MFC
Turbo pump
RF5S RF Generator, 500 W, 13.56 MHz
Does not include roughing pump
PC Controller with graphical user interface
Power supply: 208 V, 60 Hz, 3 Phase
1998 vintage.
PLASMATHERM SLR 720/720 ist ein leistungsstarker High-End-Ätzer/Ascher für die anspruchsvollsten industriellen Anforderungen. Dieser überlegene Ätzer/Ascher bietet viele erstklassige Funktionen und Funktionen, die alle Anforderungen der modernen Fabrik erfüllen. SLR 720/720 ist sehr vielseitig und kann eine breite Palette von Substratmaterialien wie Si, Al, Cu, Ni und Ta handhaben. Die Maschine ist mit einer hochwertigen Multi-Umgebungstemperaturregelung ausgestattet, die es ermöglicht, in einem Temperaturbereich von 200 ° C bis 500 ° C zu arbeiten. Dadurch wird sichergestellt, dass für jedes Material und Verfahren optimale Temperaturen eingehalten werden. PLASMATHERM SLR 720/720 wurde entwickelt, um überlegene Ergebnisse mit maximaler Präzision, Geschwindigkeit und Wiederholbarkeit zu erzielen. Es bietet ein Laser-Servicefenster von 0,2 µm bis 7,0 µm oder so klein wie 0,1 µm für bestimmte Materialien und verfügt über eine feine Genauigkeit von 0,05 µm. Darüber hinaus ermöglicht das Programm, bis zu 500 verschiedene Rezepte mit Leichtigkeit zu speichern und abzurufen. Die Maschine verfügt auch über einen Prozess-Navigator (Process Navigator), der Zeit bei Stapelläufen sparen kann, indem die Ätztiefe automatisch entsprechend dem Rezept festgelegt wird. SLR 720/720 ist dicht verschlossen und verwendet eine fortschrittliche Edelstahl-Vakuumkammer, um einen sauberen Ätzprozess mit minimaler Verschmutzung und Exposition gegenüber Dämpfen zu gewährleisten. Es enthält ein dynamisches Profilierungssystem mit einem geätzten Tiefensensor, der die Laserleistung automatisch nach dem Rezept anpasst, um genaue Ergebnisse zu gewährleisten. Es hat auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen einschließlich Auto-Shutdown und Niedrigtemperatur-Alarm. Diese gewährleisten ein Höchstmaß an Sicherheit bei der Arbeit mit gefährlichen Stoffen und Materialien. PLASMATHERM SLR 720/720 ist ein außergewöhnlicher Ätzer/Ascher, der hervorragende Ergebnisse mit höchster Präzision, Geschwindigkeit und Wiederholbarkeit liefert. Es hat die Fähigkeit, eine breite Palette von Substratmaterialien mit feiner Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu handhaben und bietet Schutz vor Gefahrstoffen. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und High-End-Leistung ist SLR 720/720 eine perfekte Wahl für moderne industrielle Anwendungen.
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