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PLASMATHERM SLR 720 / 720
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PLASMATHERM SLR 720 / 720 #293654493

PLASMATHERM

SLR 720 / 720

Dual chamber Reactive Ion Etch (RIE) Robot loader (9) MFC Turbo pump RF5S RF Generator, 500 W, 13.56
116
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PLASMATHERM SLR 720 / 720 #9124178

PLASMATHERM

SLR 720 / 720

Dual chamber Reactive Ion Etch (RIE), 2"-8" Dual 700 style alumimum chambers with load lock 11 Inch
120