Gebraucht PLASMATHERM SLR 720 / 720 #9124178 zu verkaufen

PLASMATHERM SLR 720/720 ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Anwendungen, die sowohl Hochdurchsatz als auch hochpräzises Ätzen und Aschen erfordern. Dieses Gerät verfügt über eine intelligente selbstlernende Robotersteuerung, die die Prozessparameter kontinuierlich anpasst, um die Ergebnisse für eine Vielzahl von Substraten, Substratformen und Ätztiefen zu optimieren. Der Einsatz von SLR 720/720 macht das Ätzen und Veraschen von Lösungen einfacher, schneller und genauer als je zuvor. PLASMATHERM SLR 720/720 basiert auf einem industriellen Robotersystem und kann mit einer Reihe von dedizierten und multifunktionalen Werkzeugen konfiguriert werden, die am Roboterarm montiert werden können. Dieses Gerät bietet ein hohes Maß an Anpassung an unterschiedliche Anwendungen und Prozessanforderungen. Es ist mit einer Vielzahl von Auflösungs- und anwendungsspezifischen Softwarepaketen für verschiedene Ätz- und Ashing-Lösungen kompatibel. Die Ätz- und Ascheprozesse einschließlich Rezepturoptimierung, Prozesssteuerung sowie Be- und Entladen von Substraten werden ausschließlich über die Softwareschnittstelle verwaltet. SLR 720/720 verfügt über eine fortschrittliche Teilehandhabungsmaschine, die ein schnelles und präzises Be- und Entladen sowie Ausrichten von Substraten ermöglicht. Zu den gängigsten Lösungen zählen Lastverriegelungs- und peristaltische Handlingsysteme. Das Roboterwerkzeug sorgt ferner dafür, dass die Ätz- und Aschwerkzeuge exakt gesteuert werden und die Prozessparameter für jedes Substrat entsprechend eingestellt werden. PLASMATHERM SLR 720/720 unterstützt eine breite Palette von Kapazitäts- und Prozessvarianten. Dazu gehören die beheizte Kammertechnologie, Zweigascluster, Plasmaquenche und PECVD sowie Ätz- und Aschetechnologien wie RIE/ICP, Dreifachfrequenz, ALD, CVD und Sub-Micron Etcher. Darüber hinaus unterstützt es auch die kontrollierte Zugabe und Entfernung von Chemikalien, sowie Inline-Rezepte. Die SLR 720/720 besteht aus drei wesentlichen Teilen. Der erste ist der Schaltschrank, der alle für die Robotersteuerung und -verarbeitung notwendigen Komponenten beherbergt. Die zweite ist die Ätz- und Aschekammer, die aus einer eingebauten Düse, einem Flansch und einem Reinigungsgut besteht. Der letzte Teil ist das Ätz- und Aschemodell, das alle wesentlichen Werkzeuge wie Laserschreiber, Masken und Detektor sowie die Gaskästen umfasst. PLASMATHERM SLR 720/720 bietet eine einzigartige Kombination von Funktionen und Fähigkeiten zum Ätzen und Aschen, wodurch Benutzer dünne und dicke Substrate mit hoher Materialausnutzung und Prozesseffizienz ätzen und aschen können. Diese Ausrüstung ist ideal für Labore und andere Anwendungen, die Hochleistungs-Ätz- und Aschelösungen erfordern.