Gebraucht STS / CPX Multiplex #293601086 zu verkaufen
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ID: 293601086
Advanced Oxide Etcher (AOE)
Loadlock module, 4"
AOE Chamber module
LEYBOLD Mag-Lev Turbo pump: 2000 L/sec
ICP Chamber.
STS/CPX Multiplex ist ein Ätzer/Ascher, ein computergesteuertes Gerätesystem zum präzisen Ätzen und Aschen verschiedener Arten von Materialien in der Halbleiterindustrie. Es besteht aus zwei Hauptkomponenten; die Substrat Transfer Station (STS) und das Computer-Aided Plasma Etching Process (CPX). STS/CPX ist ein Gerät, das verwendet wird, um Wafer sicher vom Lade-/Entlade-Port zu den Ascher-/Ätzerkammern zu bewegen. STS besteht aus einem Satz elektromechanischer Arme, einem sicheren Transportmodul und einer Werkzeugwechsleranordnung. Die Arme sind entworfen, um einen Wafer zu sichern, indem sie ihn mit präzisen Bewegungen klemmen, um eine genaue Ausrichtung des Wafers innerhalb der Maschine zu gewährleisten. Die Werkzeugwechsler-Baugruppe ist verantwortlich für das Ändern aller notwendigen Teile oder Komponenten, die während des Ätz- und Veraschungsprozesses benötigt werden. CPX ist ein computergesteuertes Ätz- und Aschesystem, das Teil von STS/CPX ist und eine präzise Kontrolle über jeden Aspekt des Ätz- und Ascheprozesses ermöglicht. Dazu gehört eine präzise Steuerung von Temperatur, Druck sowie Durchfluss, Leistung und Timing. STS wurde entwickelt, um qualitativ hochwertige Ätz- und Ashing-Ergebnisse zu liefern, indem eine erweiterte Softwareschnittstelle verwendet wird, um die Parameter der Ätzung zu optimieren und zu steuern. STS Multiplex kombiniert die Präzision eines CPX-Werkzeugwechslers mit einem computergestützten Plasmaätzprozess, um einen Ätzer zu schaffen, der außergewöhnliche Ergebnisse beim Ätzen und Aschen erzielen kann. Der Ätzer ist in der Lage, eine hohe Wiederholbarkeit und Genauigkeit für eine Vielzahl von Substratmaterialien und -prozessen zu erreichen. Es hat auch die Fähigkeit, leicht neu konfiguriert werden, um spezifische Anwendungsanforderungen, so dass es eine ideale Wahl für diejenigen, die zuverlässige, genaue und wiederholbare Ätzergebnisse zu erzielen müssen.
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