Gebraucht STS / CPX Multiplex #293725291 zu verkaufen

Hersteller
STS / CPX
Modell
Multiplex
ID: 293725291
Wafergröße: 4"
Weinlese: 2000
Etcher, 4" Material used: Gas Gas box QDP80 Pump 900 Turbo pump Chiller RF No ESC Throttle valve Back side cooling Loadlock No end point detection system Operating system 2000 vintage.
STS/CPX Multiplex ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher zur Herstellung integrierter Schaltungen. Es ist in der Lage, mehrstufige Ätz-, Legierungs- und Abscheidungsprozesse gleichzeitig durchzuführen. STS Multiplex umfasst eine Vielzahl von modularen Komponenten, die an die spezifischen Anforderungen der Anwendung jedes Kunden angepasst werden können. CPX Multiplex verfügt über ein optimiertes Design für optimale Leistung und hohen Durchsatz. Es enthält einen fortschrittlichen Multiplex-Kolben-Etch und Ladeschaltung für effizientes Ätzen bei niedrigeren Temperaturen. Der Ätzer besteht aus zwei Hauptkomponenten: einer elektrochemischen Ätzkammer und einer Ionenstrahl-Ätzkammer. Die Ätzkammer wird abgedichtet und unter Druck gesetzt, um das Austreten von schädlichen oder flüchtigen Chemikalien zu verhindern und eine optimale Temperatur und einen optimalen Druck aufrechtzuerhalten. Die Ionenstrahl-Ätzkammer verwendet eine Gasfördereinrichtung zur Steuerung der Ionenstrahl-Spannung und enthält den Strahl in einem gleichmäßigen Weg zur Präzisionsätzung. Das Backsystem von STS/CPX Multiplex besteht aus einem Backofen, einem Vorwärmer, einer Kühlzone und einer Auspuffanlage. Ofen und Vorwärmer dienen zum Vorwärmen, Backen und Glühen von Wafern bis 1000 ° C. Die Kühlzone hilft, die Temperatur durch sanfte Konvektionskühlung zu reduzieren. Seine intelligenten Steuerungen regeln den Backprozess, um die Gleichmäßigkeit der Backbedingungen und die Gleichmäßigkeit der Schichtdicke zu gewährleisten. Die Abgasmaschine erfasst alle während des Backvorgangs freigesetzten gefährlichen Chemikalien. STS Multiplex enthält auch ein fortschrittliches Mikrocomputer-gesteuertes Elektroplattierungswerkzeug. Diese Anlage liefert zur gleichmäßigen Beschichtung eine geregelte Gleichspannung und kontinuierlichen Strom an die Beschichtungsfläche. Das CPX Multiplex Galvanisiermodell verfügt über einstellbare Einstellungen für mehrere Ätz- und Beschichtungsprozesse, was eine größere Flexibilität und Anpassung ermöglicht. Multiplex verfügt auch über einen fortschrittlichen Legierungsprozess. Dieses Verfahren ermöglicht die Abscheidung verschiedener Metall/Polymer/Oxid-Materialien auf verschiedenen Substraten. Der Legierungsprozess kann auch an eine Vielzahl von Spezialmaterialien für fortgeschrittene Produktdesigns angepasst werden. STS/CPX Multiplex Etcher/Asher ist eine fortschrittliche Wahl für die Herstellung von integrierten Schaltungen. Sein Design ermöglicht effiziente Ätz-, Legierungs- und Abscheidungsprozesse mit hohem Durchsatz, Präzision und Gleichmäßigkeit. Die modularen Komponenten ermöglichen es Benutzern, ihre Geräte an ihre spezifischen Anwendungen anzupassen.
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