Gebraucht STS / CPX Multiplex #293824464 zu verkaufen

STS/CPX Multiplex ist eine speziell auf die Herstellung von Halbleiterscheiben zugeschnittene Plasmaätzanlage. Dieses vielseitige Werkzeug kann eine Vielzahl von Anwendungen bewältigen, von der Lithographie mit hoher Dichte bis zum Niederspannungsoxidätzen. STS Multiplex verwendet ein revolutionäres mehrstufiges Verarbeitungssystem, um eine präzise Steuerung der Ätzgaszusammensetzung und -temperatur zu ermöglichen, wodurch der Benutzer die Ätzparameter an seine spezifischen Prozessanforderungen anpassen kann. CPX Multiplex besteht aus zwei oder vier unabhängigen, unabhängig steuerbaren, vakuumfähigen Verarbeitungskammern. Dadurch kann der Anwender vor dem Ätzen Substrate mit CVD- oder Sputterprozessen vorbehandeln und Nachätzbehandlungen wie Passivierung und Abscheidung durchführen. Um die Verarbeitungsbedingungen weiter zu optimieren, bietet Multiplex auch die Möglichkeit, sich mit zentralen Gas- und Vakuumversorgungseinrichtungen zu verbinden, sodass der Benutzer die Gaskonzentration und Temperaturen automatisch über eine LabView-Schnittstelle steuern kann. STS/CPX Multiplex bietet drei verschiedene Ätzmethoden. Die erste Option ist eine hochdichte, hochtemperaturkombinierte Gasplasmaätzung (CGP). Dieses Verfahren setzt auf einen effektiven Transport hoher Sauerstoffkonzentrationen, He und Ar zum Substrat, um aktive Valenzstellen zu schaffen und ein gleichmäßiges und homogenes Ätzmuster zu gewährleisten. Die zweite Ätzoption ist ein Ozonätzen niedriger Dichte und niedriger Temperatur (OZ). Dieses Verfahren emittiert kontrolliert Ozonmoleküle, um „Ätztaschen“ für tieferes Ätzen zu schaffen. Inzwischen ist die dritte Ätzoption eine Niedertemperatur-Sauerstoff-Ionen-Ätzung (OI). Diese Ätzmethode wird angewendet, wenn ultraseitiges Ätzen erforderlich ist, sowie wenn extrem konsistente Ätztiefe gesucht wird. Alle drei Methoden werden durch eine hochtemperatursichere Quarzglocke geschützt. Darüber hinaus ist die STS Multiplex-Einheit mit modernsten Sicherheitssensoren und Echtzeitüberwachung ausgestattet, um einen sicheren und zuverlässigen Ätzprozess zu gewährleisten. Dazu gehören Gasüberwachungssensoren, Lecksucher, Sauerstoffsensoren, Geschwindigkeitsüberwachungen und Temperaturüberwachungen. Darüber hinaus umfasst die Maschine auch ein eingebautes Wafer-Handhabungswerkzeug, das eine Waferübertragung und -beladung ermöglicht. Insgesamt ist CPX Multiplex ein leistungsstarkes, vielseitiges Ätzinstrument, mit dem Benutzer den Ätzprozess auf ihre spezifischen Anforderungen abstimmen können. Dies macht es eine ideale Wahl für jede Halbleiterlithographie oder Tiefätzen Anwendung.