Gebraucht STS / CPX Multiplex #9071736 zu verkaufen

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Hersteller
STS / CPX
Modell
Multiplex
ID: 9071736
Wafergröße: 3"-8"
PECVD System, 6" Operating system: Window 98 Capable of 3"- 8" Currently depositing: SiO2, Si3N4 Single chamber loadlock Substrate size: Pieces up to 8" AE Low RF & high RF generator SMC Chiller for shower head Single vane pump for loadlock Pump / Blower package for chamber Gas lines: 2%SiH4 in N2 N2O NH3 N2 Cleaning gases: O2 CF4 208 VAC, 60 Hz, 3P, 5W ~1997 vintage.
STS/CPX Multiplex ist eine Ätz-/Aschermaschine für die Hochdurchsatzverarbeitung von Photomasken-Substraten. Es verwendet Multisonden-Ätz-/Aschetechnologie, um eine Vielzahl von Anwendungsanforderungen zu bearbeiten, einschließlich High Aspect Ratio (HAR) Ätzen/Aschen, Seitenätzen/Aschen, sowie andere fortschrittliche Prozesstechnologien. Das System ist auf Stabilität, Konsistenz und hohen Durchsatz ausgelegt, mit der Fähigkeit, bis zu 200 Proben in einem einzigen Lauf zu verarbeiten. Herzstück des Geräts ist eine hochpräzise Zweisonden-Stufe, die innerhalb enger Prozeßkontrollparameter arbeitet, um wiederholbare und zuverlässige Ätz-/Ascheergebnisse zu gewährleisten. Die Dual-Sonde bietet eine extrem feine Genauigkeit, die eine breite Palette von Prozessparameteranpassungen ermöglicht. Die Maschine ist zudem mit integrierter Scantechnologie ausgestattet, mit der Anwender schnell und präzise entsprechende Ätz-/Aschemasken erzeugen können. Dies trägt wesentlich dazu bei, die Genauigkeit und Geschwindigkeit hochpräziser Prozesse zu verbessern, die Zykluszeiten zu reduzieren und den Durchsatz zu erhöhen. Die erweiterte Endpunkt-Erkennungsfähigkeit des Werkzeugs stellt sicher, dass kritische Prozessschritte genau überwacht werden, was sowohl das Über- als auch das Unterätzen/Veraschen sowie das Risiko einer Kontamination erheblich reduziert. STS Multiplex verwendet abriebarme Technologie, um eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, einschließlich ein- und zweischichtige Photomasken, und bietet konsistente Ätz-/Ascheergebnisse über mehrere Aufträge. CPX Multiplex-Systeme haben eine vollständige digitale Steuerung, die präzises und einheitliches Ätzen/Veraschen aller anwendbaren Materialien ermöglicht und das Risiko von Bedienungsfehlern reduziert. Die Systeme sind zudem mit einer robusten Endpunkterkennung ausgestattet, die einen genauen Produktdurchsatz und einheitliche Ergebnisse ermöglicht. Das Asset umfasst eine Reihe optionaler Hardware- und Softwarefunktionen, einschließlich hochauflösender Echtzeit-Temperaturüberwachung, Echtzeit-Plotten von Ätz-/Aschekurven und einer integrierten, benutzerfreundlichen grafischen Oberfläche. Das Modell verfügt über eine breite Palette von Prozessparametern, die für bestimmte Anwendungen angepasst und gleichzeitig angewendet werden können und eine präzise und zuverlässige Prozesssteuerung bieten. Multiplex-Ätz-/Aschersysteme sind mit den neuesten Ätz-/Aschetechnologien und Materialien kompatibel und in modernste Prozessleitsysteme integriert. Sein robustes, voll funktionsfähiges Design bietet eine hochwertige und zuverlässige Ätz-/Ascheleistung auf einer Vielzahl von Materialien und seine Prozessstabilität sorgt dafür, dass kritische Prozesse genau überwacht und ausgeführt werden. Die Ausrüstung bietet zudem maximale Flexibilität und Vielseitigkeit, was die Kompatibilität mit einer Vielzahl von Anwendungsanforderungen und Ätz-/Aschematerialien ermöglicht. Das System bietet Anwendern einen hochdurchsatzreichen, hochzuverlässigen Ätz-/Ascheprozess, der den Anforderungen der strengsten Anwendungen entspricht.
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