Gebraucht STS / CPX Multiplex #9087826 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9087826
ICP Etcher, 6"
Load lock Capability:3,4,5,6,8 inch
Pumps: not included
Helium Back side cooling
Generators : ENI ACG3 for Bias; ACG10 for Coils; VL400 Phase Shift Controller
STS AC Box
STS Purge Panel Assembly
Chiller: not included
Remote Gas control Gas Box with 5 gas line configuration:
SF6
C4F8
C4F8
O2
Ar.
STS/CPX Multiplex ist eine Ätz-/Aschermaschine, die in der Lage ist, verschiedene Arten von Materialien in einem einzigen Prozess zu verarbeiten. Es wird hauptsächlich zum Ätzen und Aschen von Leiterplatten (Leiterplatten), Flachbildschirmen, dünnen Filmen und Glassubstraten verwendet. Das Ätz-/Aschersystem ist mit einer integrierten Plattform aufgebaut, die über zwei unabhängige Reaktoren mit jeweils eigenem Antrieb verfügt. Der Prozess des Ätzens und Aschens wird von einzelnen, unabhängig gesteuerten STS Multiplex Antriebssystemen gesteuert. Jede Antriebseinheit ist mit eindeutigen prozess- und materialspezifischen Parametern konfiguriert. CPX Multiplex-Maschine verwendet kontinuierliche Plasma-Ätz-/Aschetechnologie, um hohe Ätz- und Ascheverhältnisse mit einem ausgezeichneten Breitband-Ätz-/Ascheprofil zu erreichen. Das Werkzeug bietet einen einstellbaren Bereich von Ätz- und Ascheniveaus, um optimale Ergebnisse für das verwendete Material zu erzielen. Dieses Etcher/Asher Asset ist so konzipiert, dass es über einen PC gesteuert werden kann, um eine optimale Leistung zu erzielen. Das Steuergerät kann verwendet werden, um mehrere Prozesse parallel zu laufen, um Zeit in der Produktion zu sparen. Multiplex ist auch in der Lage, Schablonenätz- und einstufige Passivierungsprozesse in einem Durchgang durchzuführen, wodurch separate Ätz- und Passivierprozesse entfallen. Das Schablonenätzen auf dieser Maschine wird durch die LIDS-gesteuerte Plasmaätztechnik erreicht. Der Schablonenätzprozess ist in der Lage, hohe Seitenverhältnisse und Auflösung mit glatten Wänden und ohne Lichtbogen zu erzeugen. STS/CPX Multiplex ist eine zuverlässige, schnelle und hocheffiziente Ätz-/Ascherplattform. Es ist mit verschiedenen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich Open-Top-Design, Interlocks, Temperaturüberwachung und Überdruckalarme. STS Multiplex-Systeme werden mit strenger Qualitätskontrolle hergestellt, um schnelle Turnarounds, hohe Zuverlässigkeit und große Leistung zu bieten. Sie sind entworfen, um jahrelangen zuverlässigen Service zu bieten, so dass sie ideal für eine Vielzahl von Anwendungen und Branchen.
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