Gebraucht STS / CPX Multiplex #9145667 zu verkaufen

Ein STS/CPX Multiplex Etcher/Ascher ist ein Diffusionsofen mit integrierten Ein- und Ausgängen, die mehrere Prozessschritte in einer Einheit ermöglichen. Diese Art von Ofen bietet eine einzige Ausrüstung, die eine Vielzahl von Prozessen bewältigen kann, vom Ätzen und Aschen bis zur epitaktischen Abscheidung. STS Multiplex etcher/asher ist ein robustes, zuverlässiges und effizientes Werkzeug, mit dem komplexe Strukturen und Geräte hergestellt werden können. CPX Multiplex etcher/asher besteht aus mehreren angeschlossenen, unabhängigen Modulen, die gemeinsam verschiedene Ätz- und Ascheprozesse durchführen. Jedes Modul enthält ein Wafer-Transfersystem, eine Prozesskammer, eine Abgasanlage und eine Gasfördermaschine. Das Wafer-Übergabewerkzeug ist für das Be- und Entladen von Wafern in ihre jeweiligen Prozessräume zuständig. Prozesskammern werden mit Legierungskörpern, Isolierauskleidungen und beheizten Elementen gebaut, die zur Erwärmung von Gasen und zur Förderung der Abscheidung verwendet werden. Die Abgasanlage wurde entwickelt, um Restpartikel, flüchtige organische Stoffe und Prozessgase aus den Prozesskammern zu sammeln und herauszufiltern, um eine sichere und konforme Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Schließlich ist das Gasfördermodell für die Einleitung von Prozessgasen und Vorstufen in die Prozesskammern für die verschiedenen Ätz- und Ascheprozesse verantwortlich. Multiplex-Ätzer/Ascher kann bei Temperaturen zwischen 200 und 350 ° C betrieben werden und bietet eine überlegene Kontrolle über alle Prozessparameter wie Gasströme, Temperatur, Druck und Leistung. Temperatur und Druck können durch Regelung der Temperatur der Kammer sowie des Druckes des Prozessgases eingestellt werden. Zusätzlich ist jede Prozesskammer mit einer Ein- und Auslaßöffnung ausgestattet, um die Einleitung von reaktiven Gasen und den Abgas von abgebrannten Gasen zu ermöglichen. Auch die Multiplexfunktionen von STS/CPX Multiplex Etcher/Asher ermöglichen es ihm, mehrere Prozessschritte innerhalb der gleichen Einheit durchzuführen, die über die Maschinensteuerung gesteuert werden. Der Controller kann auch verwendet werden, um automatische Rezepte für verschiedene Prozesse zu programmieren, so dass wiederholbare, konsistente Ergebnisse bei minimalen Ausfallzeiten möglich sind. STS Multiplex-Funktionen von CPX Multiplex etcher/asher bieten enorme Flexibilität und Kosteneinsparungen. Die verschiedenen Prozesse, die es innerhalb der gleichen Einheit abschließen kann, machen es sehr vielseitig und kostengünstig für verschiedene Produktionsszenarien. Es kann helfen, sowohl Wafer Handhabungszeit und Zykluszeiten zu reduzieren, was den Benutzer sowohl Zeit als auch Geld spart. Damit ist Multiplex Etcher/Asher eine ausgezeichnete Wahl für Unternehmen, die einen zuverlässigen, kostengünstigen Diffusionsofen suchen.