Gebraucht STS / CPX Multiplex #9316685 zu verkaufen

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Hersteller
STS / CPX
Modell
Multiplex
ID: 9316685
Wafergröße: 4"-6"
PECVD System, 4"-6" Process: SiO2, Si3N4, A-Si Doping gases: P+/N- Load lock with (2) wafer carousels Low and high frequency RF power.
STS/CPX Multiplex ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die auf die Bedürfnisse der hochmodernen Mikroelektronik-Industrie zugeschnitten ist. Dieses System verwendet mehrere Ionenstrahlen und Laserlichtquellen, um genaues Ätzen und Aschen für zahlreiche Prozesse bereitzustellen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf dreidimensionales Ätzen, tiefes Grabenätzen, Feinlinienätzen, Rückseitenätzen und Tiefätzen. Es ist eine vollautomatische Einheit, und mit seiner hochmodernen Software können Anwender praktisch jeden Ätz- oder Ascheprozess schnell mit beispielloser Genauigkeit und Präzision konfigurieren. Die Maschine besteht aus einer Hauptkammer, die die Ionenquelle, die Laserlichtquelle und andere notwendige Komponenten enthält. Die Ionenquelle soll die Erzeugung verschiedener Ionenstrahlen für verschiedene Prozesse ermöglichen und gleichzeitig die Strahlleistung auf bestimmte Bereiche der Probe konzentrieren. Die Laserlichtquelle dient zur Erzeugung zweidimensionaler Formen auf der Probenoberfläche und kann sowohl zum Ätzen als auch zum Aschen verwendet werden. Darüber hinaus kann diese Quelle optimiert werden, um Laserleistung genau dort zu liefern, wo sie am meisten benötigt wird, um die Ätz- und Ascheergebnisse zu verbessern. Zu den weiteren Komponenten in der Kammer gehören eine Waferhalterung, ein Ionenstrahlfilter und ein kryogenes Kühlwerkzeug. Eine intelligente GUI-basierte Software steuert den Ätz- und Ashing-Job, konfiguriert die Asset-Parameter entsprechend und steuert jede Phase des Prozesses. Der Benutzer kann den Ätz-/Ascheauftrag leicht programmieren, einschließlich Operationen wie Strahlneigung, Strom, Strahlgeschwindigkeit, Verweilzeit usw. STS Multiplex verfügt auch über eine präzise In-situ-Ätzüberwachung und Prozessbewässerung, so dass Anpassungen vorgenommen werden können, während der Job fortschreitet, um seine Genauigkeit weiter zu verbessern. Darüber hinaus ist das Modell mit einer integrierten Rezeptbibliothek ausgestattet, mit der Benutzer häufig verwendete Prozesse zurückrufen und bei Bedarf weitere Anpassungen vornehmen können. Insgesamt ist CPX Multiplex eine fortschrittliche, hochfähige Ätz-/Ascheausrüstung, die den Anforderungen der modernen Mikroelektronikindustrie gerecht wird. Dank seiner multidirektionalen Ionenstrahlen, der Laserlichtquelle und der intelligenten Software kann es mit einem langlebigen wartungsfreien Betrieb äußerst präzise Ergebnisse liefern.
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