Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #293830626 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC ist ein hochpräziser, multifunktionaler Trockenätzer/Ascher. Es ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Photolithographie, fortgeschrittenes Ätzen, Isolieren, Rampenglühen und thermisches Glühen. Der Ätzer bietet eine Vielzahl von Funktionen und Funktionen, wie hohe Ätzraten, Substratsteuerung, saubere Prozesse und ein Anwendungsdesign, um Zykluszeiten zu reduzieren. Der Ätzer verwendet eine patentierte elektromagnetisch unterstützte Elektronenstrahlquelle (EMEBE), um die Kammer zu reinigen, die Zykluszeiten zu reduzieren und eine konsistente Verarbeitung zu erzielen. Die EMEBE-Quelle dient auch zur Erzeugung eines Plasmas in der Ätzkammer; dadurch lassen sich Verunreinigungen und Rückstände leicht handhaben. Der Ätzer umfasst eine automatische Substratmontageausrüstung, die eine schnelle und einfache Substratplatzierung und Vakuumkammerdichtungswartung ermöglicht. Dieses System beinhaltet auch die Einstellbarkeit, so dass jedes Substrat unabhängig oder kollektiv eingestellt werden kann. TEL TE 5000 ATC steuert Wärme- und HF-Systeme. Die HF-Einheit kann eine Vielzahl von Frequenzen halten, was zu einem gleichzeitigen Doppelfrequenzbetrieb führt, was für die Auflösung von Impedanz- und Oberflächenzusammensetzungsunterschieden, die bei der Verarbeitung häufig auftreten, wesentlich ist. Die HF-Maschine kann auch die Temperatur des Substrats und der Werkstückoberfläche genau verwalten. Der ET 5000 ATC hat eine verbesserte Druck- und Temperaturregelung für ein verbessertes Partikelmanagement und eine reduzierte Ätzdauer. Es verfügt über eine Vielzahl von Druckniveaus, die von atmosphärischem Druck bis zu subatmosphärischem Druck reichen, und mehrere Sicherheitseinstellungen für mehr Sicherheit. Die Kammer ist mit einer Vielzahl von Sensoren ausgestattet, darunter IR-Kameras und Thermoelemente zur Überwachung von Temperatur, Druck und Strömung. Die Sensoren bieten Echtzeit-Datenerfassung, so dass Benutzer ihre Parameter in Echtzeit überwachen und anpassen können. TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC ist eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen zum Trockenätzen und Aschen und liefert ausgezeichnete Ergebnisse mit einer Vielzahl von Substraten und Materialien. Die hochpräzisen Ätz- und Glühfähigkeiten in Kombination mit seinen fortschrittlichen Prozessen machen es zu einem idealen Werkzeug für High-End-Forschungs- und Produktionsanwendungen.