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TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9236838
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TE 5000 ATC

Oxide etcher, 6" Chamber / ATC.
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TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9236837
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TE 5000 ATC

Oxide etcher, 5" Chamber / ATC.
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TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9236836
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TE 5000 ATC

Oxide etcher, 5" Chamber.
44
TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9142638
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TE 5000 ATC

Oxide etcher, 8" 1995 vintage.
55
TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9142630
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TE 5000 ATC

Oxide etcher, 6" 1996 vintage.
22
TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #197616
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TE 5000 ATC

Oxide etcher, 5" Chamber 1995 vintage.
28
TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9033639
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TE 5000 ATC

Etcher, 5" Chamber / ATC 1991 vintage.
32
TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9098711
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Etchers, 6" Chamber / ATC 1992 vintage.
42