Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9142630 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascher-Ausrüstung für die hochvolumige Verarbeitung von Materialien. Mit einer Einwaferätzkammer werden Substrate bis maximal 200 mm Durchmesser mit einer Geschwindigkeit von bis zu 50 Wafern pro Stunde verarbeitet. Das System besteht aus einer Mehrfachschaufellast-Schließstation, einer hochstabilen Ätzkammer, einer Niederdruck-Plasmaätzquelle, einer geschlossenen Abbaueinheit und einer Abgasmaschine aus Membranpumpe und Filter. Die Ätzkammer hat eine gleichmäßige Temperatur- und Druckregelung, was sie einfacher macht und keine aufwendige Reaktivgasregelung erfordert. TEL TE 5000 ATC verfügt über ein integriertes Computerwerkzeug mit erweiterter Überwachungsfähigkeit. Es ist für den Einsatz mit HPLC- CF4 oder NF3 Gasen konzipiert. Das Asset kann mehrere Prozessschritte wie Plasmaätzen, reaktives Ionenätzen und Passivierung in einem Zyklus umfassen. Die Prozessparameter werden bei jedem Prozesslauf erfasst und das Ergebnis kann mit dem Zielrezept verglichen werden. Das Modell ist für hochpräzise Musterätzung ausgelegt und ermöglicht eine präzise Steuerung der Ätzparameter, wie Selektivität, Ätzrate und Genauigkeit. TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC Ausrüstung kann eine Vielzahl von Substraten handhaben, von Metallen zu Silizium-Wafern und Isolierfilmen. Es verfügt auch über ein automatisiertes Lade-/Transfersystem für Wafer und Kassetten. Es verfügt über eine automatisierte Pumpensteuerung zur präzisen Ätzkammerdruckregelung. Das Gerät verfügt über eine Hochdurchsatz-Prozessfähigkeit mit einer hohen Wiederholbarkeit für die Produktkonsistenz. Es verfügt über eine hochauflösende Visualisierungsfähigkeit mit einer eingebauten Kamera. Die Maschine ist für einen zuverlässigen Betrieb mit minimalen Ausfallzeiten ausgelegt. Es verfügt über eine integrierte entlastbare Schaltung und Prozessüberwachung und ein eingebautes Sicherheitsverriegelungswerkzeug. Die Anlage ist für einfache Wartung und Reinigung konzipiert und kann mit einem PC zur Datenerfassung und Aufzeichnung verbunden werden. Das Modell wurde entwickelt, um alle geltenden Sicherheits- und Umweltvorschriften zu erfüllen. TE 5000 ATC ist eine zuverlässige und fortschrittliche Ätz-/Ascher-Ausrüstung für die Hochvolumenverarbeitung. Es ist zur präzisen Steuerung von Ätzprozessen ausgelegt und verfügt zudem über ein integriertes Computersystem mit Überwachungsfähigkeit. Es ist eine sichere und zuverlässige Einheit mit einfacher Wartung. Es eignet sich für eine Reihe von Substraten und kann konsistente und zuverlässige Ergebnisse liefern.