Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9236838 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es ist entworfen, um Material von Halbleiteroberflächen mit präzisen und wiederholbaren Ergebnissen abzuscheiden und zu entfernen. Das System besteht aus einer zentralen Verarbeitungskammer, der Atom Transfer Chemical Vapor Deposition (ATCVD) -Kammer, sowie zwei zusätzlichen Kammern zum Ätzen (Reactive Ion Etching (RIE) und Dry Metal Etch (DME)). Die ATCVD-Kammer wird zur Abscheidung von dünnen Schichten aus Materialien wie Silizium, Titannitrid und Aluminiumoxynitrid auf die Halbleiterscheiben verwendet, um spezifische elektrische Kontakte und andere Strukturen zu bilden. Innerhalb der ATCVD-Kammer strömt aus einer Hochdruckgasflasche ein Gasgemisch, das das gewünschte Material enthält. Die Strömung wird durch die Beam Monitoring Unit (BMS) der ATCVD-Kammer fein gesteuert und automatisch in einen Strahl eingestellt. Dieses BMS sorgt dafür, dass sehr dünne Folien mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit abgeschieden werden. Die RIE-Kammern dienen zum Herausätzen von Strukturen aus den Halbleiterscheibenoberflächen, wie Steckverbinder, Kontakte und Verdrahtung. In dieser Kammer wird ein eine reaktive Chemikalie enthaltendes Gasgemisch in eine kontrollierte Vakuumumgebung eingebracht, das ein kommerziell wählbares Plasmafeld bildet. Dieses Plasmafeld ätzt dann selektiv unerwünschtes Material weg, während das gewünschte Material intakt bleibt. Die DME-Kammer dient zum Trockenätzen von Metallen, d.h. zum Entfernen von Metallschichten ohne Verwendung eines chemischen Verfahrens. Diese Kammer verwendet ein induktiv gekoppeltes Plasma, das eine reaktive Materialabtragung ohne Dampfphasenätzmittel ermöglicht. Alle drei Kammern zusammen bieten Anwendern eine breite Palette an erweiterten Verarbeitungsfunktionen. Darüber hinaus ist TEL TE 5000 ATC mit einer fortschrittlichen Sicherheitsmaschine sowie einer grafischen Benutzeroberfläche mit Touchscreen ausgestattet. Dies ermöglicht die komfortable Eingabe von Befehlen und die netzwerkkompatible Architektur des Tools ermöglicht eine einfache Integration in andere Systeme. Es unterstützt auch verschiedene Rezeptvorlagen für verschiedene benutzerdefinierte Ätzaufgaben, um seine Flexibilität und Dienstprogramm weiter zu erhöhen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON TE 5000ATC ein hochentwickeltes Ätz-/Aschring-Asset, das für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es bietet seinen Anwendern konsistente Ergebnisse, präzise Steuerung, Sicherheit und einfache Bedienung, so dass es eine ideale Wahl für die Verarbeitung aller Arten von Halbleiteroberflächen ist.