Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9033639 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der speziell für Polysilizium und andere Halbleiterprozesse entwickelt wurde. Es ist eine vollautomatische Ausrüstung mit einem hochentwickelten Partikelsteuerungssystem und laserbasierter Technologie, die beispiellose Produktivität und hervorragende Oberflächengüte bietet. TEL TE 5000 ATC verfügt über eine fortschrittliche Mehrkammer-Abscheideeinheit, die aus mehreren Ätztanks besteht, die verschiedene Substratgrößen aufnehmen können. Der Ätzprozess kann je nach Prozessrezept eingestellt werden, das grafisch gesteuert und einfach zu bedienen ist. TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC verwendet eine automatische Dickenkontrolle (ATC), um die Abscheidung durch eine spezialisierte optische Maschine zu überwachen. Diese Technologie bietet Anwendern Echtzeit-Feedback zur Foliendicke und Prozessüberwachung. TE 5000 ATC kommt auch mit fortschrittlicher Temperaturregelung, die eine schnelle Erwärmung und Kühlung des Substrats während der Verarbeitung ermöglicht. Dies ermöglicht eine verbesserte Prozesskonsistenz und eine verbesserte Abscheideausbeute. Das Gerät ist mit EMV-Geräuschunterdrückungsfunktionen ausgestattet, um elektromagnetische Störungen zu reduzieren und Geräuschpegel zu minimieren. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine sichere Stickstoffversorgung zur hochstabilen Gasätzung. Neben seiner hervorragenden Ätzleistung verfügt TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC auch über eine leistungsstarke Antriebsanlage, die eine Hochgeschwindigkeits-Bewegungssteuerung bietet. Das Bewegungssteuermodell ermöglicht den gleichzeitigen Betrieb mehrerer Kammern mit präziser Substratpositionierung, was die Wartezeit zwischen den Prozessschritten deutlich reduziert. TEL TE 5000 ATC verfügt auch über eine Substrat-Retrieval-Ausrüstung, die schnell und präzise kleinere Substrate aus den Ätztanks holt. TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschereinheit, die sich ideal für die Herstellung von Polysilizium und anderen Halbleiterprozessen eignet. Es bietet hervorragende Leistung und eine überlegene Prozesssteuerung sowie eine verkürzte Ätzzeit. Darüber hinaus bietet das System eine sichere Stickstoffversorgung und eine fortschrittliche Temperaturregelung für eine verbesserte Prozesskonsistenz sowie eine Unterdrückung elektromagnetischer Störungen (EMV) für einen leiseren Betrieb. TE 5000 ATC ist mit seiner Hochgeschwindigkeits-Antriebseinheit und seiner automatischen Substrat-Abrufmaschine eine zuverlässige und kostengünstige Wahl für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente.