Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9236837 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der präzise, wiederholbare Prozessbedingungen bietet. Mit einer Prozesskammer mit einer dreiachsigen Translationsstufe wurde sie entwickelt, um hochpräzise Ergebnisse für eine Vielzahl von Ätz- und Strippanwendungen zu liefern. Die automatische Steuerung bietet eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit und liefert zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse. Dieser Ätzer/Ascher verfügt über ein Vakuumsystem, das für eine schnelle Kammerabfuhr, Lufteinströmung und Partikelabfuhr optimiert ist. Eine fortschrittliche Drucksteuerung sorgt für präzise und wiederholbare Druckverhältnisse während des gesamten Ätzprozesses. Dieser Ätzer/Ascher ist mit einer 1000-W-HF-Stromquelle ausgestattet, die den Betrieb bei einer Vielzahl von Frequenzen für eine Vielzahl von Anwendungen ermöglicht. Ein Multipositionssubstratheizer sorgt für eine ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit über das gesamte Substrat. Eine intuitive Human Machine Interface (HMI) ermöglicht eine einfache Maschinenkonfiguration und Datenaufzeichnung. Dieser Ätzer/Ascher ist mit einer Vielzahl von Optionen kompatibel, darunter Nassentwicklungssysteme, ein In-situ-Endpunktdetektor, ein In-situ-Scavenger, ein In-situ-Rückseite-Wafer-Reiniger und andere. Neben der einfachen Bedienung und der hohen Konfigurierbarkeit ist TEL TE 5000 ATC auch mit Blick auf die Sicherheit konzipiert und verfügt über integrierte Sicherheitssysteme wie eine Vakuumverriegelung, einen explosionsgefährdeten Atmosphärensensor, eine Sicherheitsverriegelung für Lastschlösser und andere. Eine Reihe von HF-Überwachungssystemen sind ebenfalls enthalten, wie das Plasma-Überwachungsmodul, das die HF-Leistung und entsprechende substratverarbeitete Parameter während des Ätz- oder Strippvorgangs überwacht. Die verbesserte Genauigkeit der HF-Leistung und die Prozessgleichförmigkeit tragen ebenfalls zur weiteren Verbesserung der Prozesswiederholbarkeit bei. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON TE 5000ATC ein unglaublich leistungsstarker Ätzer/Ascher, der für wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse entwickelt wurde und eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen ist. Seine fortschrittlichen Funktionen tragen dazu bei, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten und gleichzeitig hervorragende Prozessgleichförmigkeit und Überwachungsfunktionen zu bieten.