Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9142638 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC ist ein reaktiver Ionenätzer (RIE), der zum Entfernen von Materialschichten von Substratoberflächen verwendet wird. Dieses Gerät verfügt über eine Advanced Burch Chamber (ATC) -Ausrüstung, die Hochgeschwindigkeits-Materialätzen und Hochpräzisionsbearbeitung für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Das System bietet durch eine Kombination aus Hochtemperatur-Wasserstoff-basiertem Plasma und fortschrittlichem Brennerkammerdesign einen hochfrequenten, schadensarmen Ätzprozess. Zu den Hauptkomponenten von TEL TE 5000 ATC gehören die Plasmakammer, die Turbomolekularpumpe und die Advanced Burch Chamber (ATC). Die Plasmakammer ist mit einer erweiterten Schlitzdichtungskonstruktion gebaut und hat eine maximale Ätzfläche von 395 mm mal 278 mm. Die Turbomolekularpumpe ist eine Hochleistungspumpe, mit der die Kammer durch Erzeugen eines Hochvakuums evakuiert wird. Schließlich nutzt das ATC ein Hochtemperatur-Hochleistungs-Plasma auf Wasserstoffbasis, um einen leistungsstarken Ätzprozess zu erzeugen. Das Gerät wird von Computer Numerical Control (CNC) Software gesteuert und die Software bietet eine Reihe von Funktionen wie Prozesssteuerung, Rezeptbibliothek, Alarmschemata und Datenprotokollierungsfunktionen. Die Maschine verfügt zudem über eine temperaturproportionale Rückkopplungsversorgung (TPFS), die einen optimierten Ätzprozess ermöglicht. TOKYO ELECTRON TE 5000ATC bietet einen Hochgeschwindigkeitsätzprozess, der für den Betrieb bei hohen Temperaturen geeignet ist. Das Gerät ist für das wiederholbare, präzise und schnelle Ätzen und Reinigen tiefer Strukturen, schmaler Merkmale und großer Flächen ausgelegt. Es ist in der Lage, Materialien wie Polymere, Silizium, Galliumarsenid, Edelstahl, Titan und viele andere Hartmetalle zu ätzen. Das Gerät wird bei der Herstellung von Mobiltelefonen, medizinischen Geräten und elektronischen Komponenten verwendet. Insgesamt ist TE 5000ATC ein fortschrittliches Ätz- und Reinigungswerkzeug mit Funktionen, die es für viele Anwendungen geeignet machen. Das Gerät ist einfach zu bedienen und bietet einen wiederholbaren, präzisen Ätzprozess. Es ist in der Lage, verschiedene Materialien mit hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit bei hohen Temperaturen zu ätzen.