Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9098711 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC
ID: 9098711
Wafergröße: 6
Weinlese: 1992
Etchers, 6" Chamber / ATC 1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC (Ätzen/Aschen) -Ausrüstung ist ein halbautomatisches, vielseitiges, fortschrittliches Ätz- und Aschesystem mit einer breiten Palette von Hochleistungs-Ätz- und Ascheprozessen. TEL TE 5000 ATC-Einheit ist eine modulare Maschine, die entwickelt wurde, um überlegene Ätz- und Ascheleistung und Variabilität sowie maximale Produktivität zu bieten. Das Gerät wird mit vier verschiedenen Experimentierzonen für die gleichzeitige Bearbeitung mehrerer Proben vorgebaut. Die vier Prozesse können vollständig an die individuellen Anforderungen jedes Experiments angepasst werden. Darüber hinaus kann TOKYO ELECTRON TE 5000ATC einfach mit zusätzlichen Modulen angepasst werden, um seine Fähigkeiten weiter auszubauen. Das Werkzeug wird von einer präzisionsgesteuerten Elektronenkanone vom Typ HT angetrieben und kann sowohl geätzt als auch geascht werden. Eine intuitive Benutzeroberfläche mit Touchscreen-Steuerung und Echtzeit-Prozessüberwachung macht es einfach zu bedienen. Es verfügt über einen verbesserten Plasmagenerator für erhöhte Ätzraten auf Metallsubstraten und einen Chargenlader zum automatisierten Be- und Entladen. TE 5000 ATC ist ein anspruchsvolles, hochautomatisiertes Werkzeug zum Ätzen und Aschen verschiedener Materialien, darunter Silizium, Verbundhalbleiter und Metalle. Es ist entworfen, um wiederholbare, genaue Ätz- und Ascheergebnisse zu produzieren, wenn zeitgemäße Ätz-/Ascheverarbeitungsanforderungen. TEL TE 5000ATC verfügt über leistungsstarke Prozess- und Datenverwaltungsfunktionen, mit denen Benutzer Rezepte und andere Prozessparameter speichern und abrufen können. TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC verwendet eine Vielzahl von Gasen und präzise Zufuhrsysteme für genaue und wiederholbare Ätz-/Ascheergebnisse. Die Gasversorgung wird aktiv kontrolliert und überwacht, um eine konsistente und wiederholbare Ätzrate zu gewährleisten. Der einzigartige Pressure Flow Controller ermöglicht eine exakte Druckregelung mehrerer Gase in die Kammer. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000ATC ein leistungsstarkes, multifunktionales Werkzeug zum präzisen Ätzen und Aschen zahlreicher Materialien. Die fortschrittlichen Verfahrensmerkmale von TEL machen es ideal für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen mit Silizium, Verbundhalbleitern und Metallen. Seine benutzerfreundliche Oberfläche und zuverlässige Prozesssteuerung machen es zu einer idealen Lösung für Forscher und Ätztechniker, die konstant genaue Ergebnisse benötigen.
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