Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9213296 zu verkaufen
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ID: 9213296
Deep trench silicon etchers
12" FOUP
(4) Chambers (SCCM)
(5) Loader ports
Load locker modules
GEW3040 and NOVA50A 40MHz and 3.2MHz dual frequency source
ESD Chuck
Temperature control
RF Application method
Process: 80um deep 90nm wide via silicon etch
Chamber:
Aluminum alloy chamber
Material: Aluminum alloy (A6061)
Surface finishing: Hard sulfuric acid anodizing
RF Application method: Apply upper RF to lower electrode
Discharge method: SCCM Type
Temperature control:
Upper electrode: Temperature control by heater and cooling water
Lower electrode: Temperature control by circulating coolant
Side wall: Temperature control by heater
Upper electrode:
Quartz cover or aluminum alloy (A6061) with hard sulfuric acid anodizing
Shield ring
Lower electrode:
Ceramics electro static chuck
Thermometer
Wafer holding method: Electrostatic chuck(φ300) mechanism
Lifter: Resin
Focus ring: Qz
Exhaust plate: Aluminum alloy with hard sulfuric acid anodizing
Insulation ring: Quartz cover or aluminum alloy (A6061) with hard sulfuric acid anodizing
Distance between electrodes: 30～35 mm
Magnet:
Intensity: 170G (center)
Rotation: 20± 1rpm
Pressure monitor: (3) Types
He B.P unit: Cooling gas for wafer back
Pressure switch: PCV (STEC)
Number of line: (2) Lines
Control range of pressure:
(Center / Edge): 0~7980Pa(0~60Torr)
He monitor: Leakage monitor
Detection of valve open / close: Valve ON/OFF sensor
End point detection: SE2000
Confirmation of luminescence
Window: Orifice (Quartz)
Deposition shield: Removable depo-shield
Material: Quartz
Shutter:
Plate: Aluminium alloy with hard sulfuric anodizing
Drive: Air cylinder
Final valve: Diaphragm type mega-one (Fujikin)
Manifold: Aluminium alloy with hard sulfuric anodizing
O-ring for chamber: Chemratz
Specifications for performance:
Ultimate vacuum: 0.0133 Pa (7.5*10-2 mTorr) or less
Leak back: 0.133 Pa/min (1 mTorr/min) or less
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der eine präzise Filmdickenregelung und schnelle Substratverarbeitung ermöglicht. Die Maschine nutzt eine Vielzahl fortschrittlicher Technologien, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen und gleichzeitig bemerkenswerte Durchsatzgeschwindigkeiten zu erzielen. TEL Telius SP 308QS verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, die den Ätzprozess einfach und einfach macht. Die Ätzkammer ist flexibel und ergonomisch konzipiert und eignet sich für eine Vielzahl von Ätzanwendungen. Es verfügt über eine fortschrittliche Vier-Laser-Interferometrie-Ausrüstung zur präzisen Kontrolle der Filmdicke. Dieses System ist in der Lage, Filmdicken von 0,2 nm bis 70 mm zu messen und zu messen. Es verfügt auch über einen automatischen i-LINE-Modus für hochpräzises Ätzen mit einer einfachen Ein-Knopf-Bedienung. Das Gerät verfügt über einen grafischen Mustereditor, mit dem Sie Ätzmuster für erweiterte Anwendungsanforderungen einfach bearbeiten können. Der Ätzvorgang wird in einer thermisch gesteuerten, ultrahochvakuumätzkammer durchgeführt. Diese Vakuumkammer ist in der Lage, Vakuumniveaus von bis zu 10-7 Torr zu erreichen. Es verfügt über eine automatische Optimierungsfunktion, mit der Ätzbedingungen automatisch angepasst werden können, um höhere Ätzraten und niedrigere Ätzselektivität zu erreichen. Die automatische Optimierung kann auch zur Feinabstimmung der Ätzbedingungen für eine präzisere Prozesssteuerung verwendet werden. TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS ist mit fortschrittlichen Funktionen zur Prozessüberwachung und Datenerfassung ausgestattet, die eine Analyse der Prozessausbeute ermöglichen. Es verfügt über einen hochpräzisen Ionenmonitor, der einen konsistenten und wiederholbaren Ätzprozess gewährleistet. Der Ätzer verfügt auch über eine erweiterte Grafikprozessoreinheit, die eine höhere Leistung während des Durchsatzes ermöglicht und gleichzeitig eine hochwertige Datenausgabe bietet. Telius SP 308QS ist eine hochentwickelte Ätzmaschine, die zuverlässige, wiederholbare Ätzergebnisse mit bemerkenswerten Durchsatzgeschwindigkeiten liefert. Das innovative Design und die fortschrittlichen Technologien machen es zu einer idealen Lösung für eine Vielzahl von Ätzanwendungen.
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