Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267844 zu verkaufen
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ID: 9267844
Deep trench silicon etcher
FACE 1 (Controller)
FACE 2 (Controller)
(4) Chambers
(4) Gas boxes
QUARTZ
(2) AC Power
(4) Pumps
Pump stand
Parts:
(4) Buffer chamber pumps
(4) Chillers
Door
Chiller stand.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS ist eine innovative Ätz-/Aschermaschine, die für genaue und zuverlässige Fertigungsprozesse für Autohersteller, Unterhaltungselektronikunternehmen und andere Industrien entwickelt wurde. Die SP- 308QS verfügt über eine zweiachsige horizontale Stufe mit hohem Drehmoment, die eine präzise, hochgeschwindige Positionierung und Verarbeitung über eine Vielzahl von Geschwindigkeits- und Beschleunigungsprofilen ermöglicht. Die fortschrittliche Prozesssteuerung des Systems gewährleistet eine präzise Temperaturregelung und eine gleichmäßige Abscheidung von Ätzmaterial über die Oberfläche des Substrats und ermöglicht präzise Ätz-/Ascheanwendungen. TEL Telius SP 308QS verwendet fortschrittliche Software, um eine hervorragende Prozesskontrolle und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Die integrierten CAD-basierten Rezept-Programme bieten eine konsistente Ätzleistung, während die integrierte automatische Druckfunktion die Arbeit bei Design und Prototyping erheblich vereinfacht. Die Einheit ermöglicht auch die einfache Einrichtung und Konfiguration von mehreren Ätz-/Ascherezepten, wodurch der Prozess der Erstellung von benutzerdefinierten Ätz- und Ascherezepten gestrafft wird. TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS Maschine ist mit einer intuitiven Benutzeroberfläche konzipiert, die es Anwendern ermöglicht, Ätz-/Aschermaschinen schnell zu konfigurieren, zu verarbeiten und zu überwachen. Das Werkzeug ist auch für maximale Sicherheit ausgelegt. Mehrere Sicherheitsmerkmale, darunter ein CE-Zeichen, IP2X elektrisches Gehäuse und die automatische Beendigung des Prozesses im Notfall, sorgen für einen sicheren Arbeitsplatz und verhindern Unfälle. Die von Telius SP 308QS hergestellten Halbleiterätzungen/-aschen sind von höchster Qualität und Reproduzierbarkeit und gewährleisten einen effizienten Betrieb und hohe Produktionsausbeuten. Die Anlage ist mit Präzisionsprozessmonitoren ausgestattet, die selbst kleinste Änderungen der Ätz- und Aschebedingungen erkennen und eine präzise Prozesskontrolle gewährleisten. Das Modell verfügt auch über Feinabstimmung Fähigkeit durch interne und externe Anpassungen für Ätz- und Ascherezepte. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS ist in der Lage, Verdampfungs- und Ätzprozesse bei unterschiedlichsten Temperaturen und Drücken durchzuführen. Dies gewährleistet eine optimale Wafer-Level-Verarbeitung für höchste Produktivität. Zusätzlich ist die Anlage flexibel ausgelegt, um neue Substrate und Prozesse schnell unterzubringen. Dies ist ideal für Forschung und Entwicklung sowie für die industrielle Fertigung unterschiedlichster komplexer und anspruchsvoller Prozesse. TEL Telius SP 308QS ist ein innovatives, zuverlässiges und sicheres Ätz-/Aschersystem, das höchste Qualität bei maximaler Produktivität und Effizienz bietet. Die leistungsstarken Steuerungssysteme und integrierten Sicherheitsfunktionen des Geräts sorgen für eine sichere Arbeitsumgebung und konsistente Prozessergebnisse, so dass Anwender maximalen Nutzen aus ihren Prozessanwendungen ziehen können.
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