Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267845 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS ist ein Ätzer/Ascher für fortschrittliche Produktionsprozesse. Es eignet sich für Speicher- und Logikgeräteanwendungen in einer Vielzahl von Prozesstechnologien ab 3xnm und darunter. Der Ätzer/Ascher nutzt einen Dual Frequency Quarz (DFQ) Wellenleiter, der höhere Energien für ein breiteres Anwendungsspektrum liefert. TEL Telius SP 308QS verfügt über ein fortschrittliches Kammerdesign, das eine hervorragende Prozessgleichmäßigkeit und -durchsatz bietet. Das Gerät ist mit einem in der Kammer befindlichen elektrostatischen Spannfutter ausgestattet, das einen sicheren Wafer-zu-Wafer und Wafer-zu-Boden-Kontakt, eine gründliche Waferreinigung und ein glattes Ätzprofil ermöglicht. Darüber hinaus verfügt dieser Ätzer/Ascher über einen Quad-Positionswafer, der unterschiedliche Wafergrößen im gleichen Lauf ermöglicht, was einen verbesserten Durchsatz und eine verbesserte Flexibilität bietet. TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS nutzt eine vakuumdichte Konstruktion mit automatisiertem Deckel öffnen/schließen und Cryo-Vesicle-Fangoptionen. Es ist auch mit einem mehrschichtigen Verschlusssystem ausgestattet, das in Verbindung mit der PBrF-Prozesssteuerung arbeitet. Diese Maschine bietet eine hervorragende Kontrolle über die Produkteigenschaften und hilft, eine konstante Ausbeute über verschiedene Prozessschichten und Wafer zu erhalten. Telius SP 308QS etcher/asher bietet zudem eine Reihe fortschrittlicher Wartungs- und Sicherheitsfunktionen. Dazu gehören ein Luftmesser-Abbauverhinderungswerkzeug und eine chemische Abgasverhinderungsvorrichtung für eine verbesserte Zuverlässigkeit sowie Wafer-verlagerte Einzelwafer- und Roboterarmschutzsysteme für eine verbesserte Sicherheit. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS Ätzer/Ascher ist für hohe Effizienz, Genauigkeit und zuverlässige Leistung ausgelegt, so dass es ideal für High-End-Ätz- und Ascheprozesse ist. Es bietet exzellente Kontrolle, Einheitlichkeit und Flexibilität, so dass Anwender wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse für ihre Produktionsprozesse erzielen können.