Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267846 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS Ätzer/Ascher wird von TEL (TOKYO ELECTRON) für den Autolabor-Einsatz in der optimierten Halbleiterherstellung und Geräteherstellung entwickelt und hergestellt. Dieser leistungsstarke und fortschrittliche Ätzer/Ascher bietet Funktionen über den traditionellen Trockenätzprozess hinaus mit seiner verbesserten Genauigkeit, Kontrolle und Effizienz. TEL Telius SP 308QS ist ein Batch-Tool mit einer 8-Zoll-Einzelwafer-Fähigkeit mit ECR (Look-up Table Conformal Etching neben dem ISO-Dry Ätzprozess) -Kammer. Es ist mit einem HF-Generator, einem Massendurchflussregler und einem Geräteregler ausgestattet. Die Ätzkammer hat ein Klemmsystem, um einen Prozesswafer beim Ätzen fest zu sichern. Diese Kammer ist in der Lage, eine optimale Atmosphäre mit gleichmäßiger Strömungsverteilung zur gleichmäßigen Plasmaerzeugung, verbesserter konformer Ätzung und verbesserter kryogener Ätzung bei verbesserter Wiederholbarkeit zu schaffen. Die SP 308QS bietet produktive Ätzprozesse für Ionen- und Non-Ionen-Ätzverfahren. Die ECR-Kammer ist ideal für die Überwachung der Waferdicke mit einem HF-Generator zur Überwachung des Ätzprozesses, um ein gleichmäßiges Ätzen zu gewährleisten. Es unterstützt auch elektrochemisches Ätzen, chemisches Dampfätzen und reaktives Ionenätzen (RIE). Die SP- 308QS wurde entwickelt, um die Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Genauigkeit in jedem Prozessschritt zu maximieren. Als solches ist es in der Lage, im Niederdruck- und Niederleistungsmodus zu arbeiten, um eine höhere Genauigkeit zu gewährleisten. Die überlegenen Steuerungsfunktionen der SP- 308QS bieten eine wiederholbare einheitliche Waferätzung. Das Gerät hat auch eine hohe Ausrichtungsgenauigkeit Option, die die Genauigkeit der Metall-und Poly-Silizium-Ätzung in kleinen Räumen verbessert. Weitere Merkmale der SP- 308QS sind eine reduzierte Wartungszeit, präzise Parametereinstellungen und eine benutzerfreundliche Oberfläche. Darüber hinaus ist die Maschine sehr kompatibel mit gängigen Prozessintegrationssoftware wie Cimquests Servel II und anderen Cimquest-bezogenen Prozessmanagement-Softwaresystemen. Das SP 308QS verfügt zudem über eine vollständige Werkzeugautomatisierungsfähigkeit und eine innovative Touchscreen-Benutzeroberfläche. Insgesamt bietet TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS Ätzer/Aser eine optimierte Leistung für die Batch-Halbleiterverarbeitung, die die Herstellung kleiner Wafer ermöglicht. Mit seinen überlegenen Steuerungsfunktionen, fortschrittlichen ECR-Technologien und effizienten Operationen ist der SP 308QS etcher/asher die perfekte Wahl für eine Reihe von Forschungs- und Entwicklungsprojekten in Auto-Lab-Anwendungen.