Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267847 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Dry Film Asher für die anspruchsvollsten Anwendungen in der Halbleiter- und Elektronikfertigung. Diese Hochleistungsausrüstung ist in der Lage, Präzisionsätzen von großen und kleinen Substraten zu liefern, einschließlich DRAM, Flash-Speicher, FRAM, SRAM, EPROM und EEPROM. Dieser Ätzer/Ascher nutzt die Dual-Beam-Technologie, um ein gleichmäßiges Ätzen im gesamten Programm zu erreichen. Es enthält eine optische Strahlsäule (OBC) zur Definition einer Ätzparametermaske für jeden einzelnen Ätzschritt, eine Ladeplatte, die diesen OBC-Befehlssatz speichert, und eine Strahlausrichtungskamera, um eine optimale Strahlausrichtung zu gewährleisten. Das System beherbergt einen ultrapräzisen Bewegungstisch und die beiden Ätzköpfe können unabhängig voneinander auf maximale Genauigkeit eingestellt werden. Die unidirektionale Gasfördereinheit in TEL Telius SP 308QS sorgt für einheitliche Ätzergebnisse. Es ist mit einstellbaren Gasdrücken, Durchflussraten und einer Gasauswahlmaschine mit einer Auswahl von N2, C2H2 und O2 ausgestattet. Es enthält eine Vielzahl von Ätzmasken, um eine breite Palette von Ätzmustern zu erstellen, sowie ein Temperatur- und Sauerstoff-Unterkontrollwerkzeug, um die Konsistenz der Ätzergebnisse zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS erreicht eine wiederholbare extrem hohe Ätzrate mit ausgezeichneter Linearität, mit einer Auflösungsfähigkeit von bis zu 1 Mikron in Breite und Tiefe. Es bietet auch eine einheitliche Ätzrate über eine breite Palette von Wafergrößen und Substraten. Das Asset ist in der Lage, komplexe Oberflächen mit hoher Auflösung und Genauigkeit zu ätzen und dabei eine konsistente Ätzrate von 0,0005 bis 0,002 µm/min beizubehalten. Telius SP 308QS ist für eine einfache Wartung konzipiert und verfügt über eine benutzerfreundliche, dedizierte Steuerungssoftware mit erweiterten Funktionen für Alarmverwaltung, Datenverwaltung und Analyse. Es verfügt auch über eine grafische Benutzeroberfläche, Standard-Netzwerk-Konnektivität, Fernzugriff über Internet-Steuerung und ein erweitertes Sicherheitsmodell mit internem Passwortschutz. Die Ausrüstung wird mit einem ergonomisch gestalteten, breiten Zubehör für die kundenspezifische, hocheffiziente Verarbeitung geliefert.