Gebraucht ASM ISISP-189 #9396588 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ASM ISISP-189 ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für den Halbleiterherstellungsprozess. Es verfügt über einen vollautomatischen Wafer-Handler und eine automatisierte Ausrichtung für schnelle Rüstzeiten. ISISP-189 ist mit einer 630-nm-Laserlichtquelle, einer hochauflösenden Monochromkamera und einer Optikstufe ausgestattet, die manuell oder automatisiert mit der mitgelieferten Software ausgerichtet werden kann. Das System ist in der Lage, Fehler an Masken und Wafern bis 150 mm Durchmesser zu messen und zu erkennen. Bei der Inspektion einer Maske oder eines Wafers verwendet ASM ISISP-189 sowohl Hellfeld- als auch Dunkelfeldbilder, um hochauflösende Bilder aller vorhandenen Fehler zu erfassen. Das Gerät ist sowohl für dünne als auch für strukturierte Strukturen optimiert und ermöglicht die genaue Erkennung von harten und weichen Defekten. ISISP-189 ist auch in der Lage, sich wiederholende Strukturen wie „Like-Images“ zu identifizieren, mit denen kleinere Unterschiede zwischen der gleichen Replikation über verschiedene Wafer oder sogar unterschiedliche Produktionsabläufe schnell identifiziert werden können. Die Maschine verfügt über hervorragende Wafermessfähigkeiten mit einer Genauigkeit von weniger als 10 nm und ist somit ideal für den Einsatz in fortschrittlichen Chip-Herstellungsprozessen. ASM ISISP-189 verfügt über erweiterte Filterfunktionen für verbesserte Fehlererkennung und -berichterstattung. Dazu gehören Sub-Pixel-Filtertechnologien, die die maximale Menge an Informationen aus jeder Inspektion extrahieren. Das Tool bietet auch verschiedene Fehlerklassifizierungs- und Berichtsalgorithmen, die die Übersetzung von Fehlerort, Intensität und Form in nützliche Daten für die Bildanalyse ermöglichen. ISISP-189 ist auch mit einer robusten Software-Suite ausgestattet, die eine erweiterte Datenanalyse und Bildverarbeitung ermöglicht. Dazu gehören spezielle Masken- und Waferinspektionswerkzeuge, erweiterte Bildverarbeitung, automatisierte Fehlerextraktion, Bildrekonstruktion und -filterung sowie vollständige technische Berichte. Die Software ermöglicht auch eine einfache Integration mit anderen automatisierten Systemen, die im Produktionsprozess verwendet werden. Insgesamt ist ASM ISISP-189 eine leistungsfähige und zuverlässige automatisierte Masken- und Wafer-Inspektion. Es verfügt über erweiterte Bildgebungs- und Fehlererkennungsfunktionen, hochgenaue Wafermessung und hervorragende Filtertechnologien. Mit seiner robusten Software-Suite eignet sich das Modell sowohl für die Forschung als auch für industrielle Anwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor