Gebraucht ASM LBE 139H #9266307 zu verkaufen

ASM LBE 139H ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es ist mit einem doppelt fokussierenden Objektiv und einer hochauflösenden CCD-Kamera ausgestattet, die eine genaue Bildaufnahme der kleinsten Merkmale sowohl in DUV-Masken als auch in dünnen Wafern ermöglicht. Das System verfügt über eine softwarebasierte Bildanalysetechnologie, die eine schnelle und genaue Fehlererkennung mit hoher Genauigkeit ermöglicht. Das Gerät ist in der Lage, Musterfehler, Kratzer, Staub, Oxid und Verschmutzungen sowie andere Partikel oder Materialien auf den Oberflächen der Masken und Wafer zu erkennen. Es kann auch Verdrahtungsfehler, fehlende Muster, Defekte, Fehlstellungen und Abweichungen bei der Linienbreite erkennen. Die Maschine kann auch charakteristische Werte wie Masken- oder Waferabstand, Linienbreite und CD-Breite genau erfassen, um die Genauigkeit der Linienbreite zu messen und die Qualität der Masken und Wafer zu bewerten. Es erkennt auch offene oder kurze Brüche sowie Variationen der Linienbreite. Darüber hinaus kann das Werkzeug nichtdimensionale Informationen wie Filmgleichmäßigkeit, Oberflächenrauhigkeit untersuchen und Trends bei Waferätz- und -bohrbedingungen überwachen. Die Anlage verfügt über einen breiten Inspektionsbereich und eine hohe Wiederholbarkeit, was sie zu einem wirksamen Werkzeug zur Sicherstellung der Qualität von DUV-Masken und dünnen Wafern macht. Es ist auch mit einem automatisierten Mess- und Analysemodul ausgestattet, das eine schnelle und genaue Inspektion großer Chargen von Masken oder Wafern ermöglicht. Das Modell ist auch in der Lage, die Abtastgeschwindigkeit des Inspektionsbereichs zu steuern und sowohl dynamische als auch statische Verformungen zu kompensieren, um eine hohe Messgenauigkeit zu gewährleisten. Es erzeugt auch genaue Bilder und Daten sowohl in der Produktion als auch im Labor. Darüber hinaus können die Geräte Widerstandsverformungen erkennen und sowohl das Bild als auch die Defekte auswerten. Schließlich verfügt das System über eine ergonomische benutzerfreundliche Oberfläche, die eine einfache und effektive Bedienung ermöglicht. Es umfasst auch Wartungsunterstützungsfunktionen wie Schmierung, periodische automatische Reinigung und Kondensationsprävention.