Gebraucht ASM LBE139CC #9118769 zu verkaufen

ASM LBE139CC ist eine führende Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur automatischen Erkennung und Korrektur von Defekten in der Halbleiterbauelementfertigung. Das System verwendet fortgeschrittene optische Bildgebungstechniken, um Fehler in Lithographiemasken und Wafern zu erkennen und zu lokalisieren, und bietet dann eine Reihe von benutzerdefinierten Editier- und Korrekturfunktionen, um das Problem anzugehen. Das Gerät verfügt über eine große optische Bildaufnahmebühne mit einer einzigartigen 5-Achsen-Bewegungssteuerung, die eine extrem präzise Ausrichtung von Masken und Wafern im Sichtfeld ermöglicht. Dem bildgebenden Teil der Maschine folgt eine erweiterte und vielseitige Bildanalyse- und Korrektursoftware, die automatisch alle Arten von Masken- oder Waferdefekten erkennt und lokalisiert und eine spezifische Bearbeitung oder Korrektur bestimmter Merkmale und Formen ermöglicht. LBE139CC bietet auch eine Reihe automatisierter Masken- und Waferinspektionsfunktionen wie automatisierte Oberflächentopographiemessung, automatisierte Lumineszenzinspektion, automatisierte Messung kritischer Dimensionen (CD) und automatisierte chemische Analyse. Diese Funktionen ermöglichen eine automatisierte Inspektion mehrerer Standorte in einer einzigen Maske/Wafer und liefern detaillierte Rückmeldungen zu Defekten sowohl in Rohmaterial als auch in verarbeiteten Masken. Das Werkzeug ermöglicht auch den Vergleich der Messergebnisse zwischen verschiedenen Masken und Wafern und ermöglicht eine schnelle und zuverlässige Abdeckung ganzer Fertigungsprozesse. Das Asset bietet auch eine Reihe von anpassbaren Berichtsoptionen, um sicherzustellen, dass die Ergebnisse des Inspektionsprozesses leicht mit anderen Abteilungen innerhalb einer Halbleiterherstellungsanlage geteilt werden können. Das Modell bietet auch eine Plattform für den automatischen Datentransfer und Datenaustausch zwischen Abteilungen, die eine nahtlose Integration des Masken- und Waferinspektionsprozesses in den größeren Fertigungsablauf ermöglicht. Insgesamt ist ASM LBE139CC eine beeindruckende und sehr vielseitige Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die eine erweiterte Suite von Funktionen bietet und den Qualitätskontrollprozess innerhalb der Halbleiterherstellung verbessert.