Gebraucht ASM TIB 139 #9299596 zu verkaufen

ASM TIB 139 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur halbautomatischen Inspektion von Halbleitermasken und Wafern. Das System kombiniert eine 5-Megapixel, CCD-Digitalkamera und ein nanometergroßes 3D-Bildgebungsobjektiv mit einer automatisierten Bühneneinheit und einer Masken- und Waferbeleuchtungsmaschine. Dadurch kann das Werkzeug während der Produktion Oberflächenfehler, Partikel und Kratzer an der Maske oder dem Wafer erkennen. Das Asset hat auch die Fähigkeit, die Kamera und das Beleuchtungsmodell zu verkaufen und zu kalibrieren, um ein präzises Bild zu erhalten. TIB 139 kann für eine Vielzahl von Funktionen verwendet werden, einschließlich kontaktloser Inspektion, Ausrichtung der Maske auf Wafer-Koordinaten und die Zuordnung von Wafer-IDs und Seriennummern. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um Inspektionsvorgänge zu automatisieren und die Produktivität durch Verringerung des manuellen Arbeitsaufwands zu erhöhen. Zusätzlich kann das System so programmiert werden, dass defekte Masken und Wafer automatisch erkannt und zurückgewiesen werden. ASM TIB 139 kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Halbleiterprozessen zu überprüfen, einschließlich Deep UV (DUV) Lithographie, Photoresist und andere Beschichtungsprozesse. Die Einheit kann für verschiedene Wafer- und Maskenformate kalibriert werden und ermöglicht die automatische Kalibrierung unterschiedlicher Belichtungsdosen und Fokustiefen. Darüber hinaus kann die Maschine zur Erkundung von Sichtfehlern während der Produktion sowie zur Überprüfung von Verschmutzungen durch Teilchen verwendet werden. TIB 139 ist für einfache Bedienung und Wartung ausgelegt. Das Tool ist mit einem großen Touchscreen-Monitor ausgestattet, mit dem Benutzer schnell und einfach navigieren und steuern können. Darüber hinaus umfasst das Modell sowohl manuelle als auch automatische Betriebsarten sowie eine umfassende Datenerfassungsausrüstung, mit der Benutzer Inspektionsdaten erfassen und verfolgen können. ASM TIB 139 ist eine bequeme und intuitive Möglichkeit, Halbleitermasken und Wafer zu überprüfen. Das System wurde entwickelt, um Produktionsvolumen und Effizienz zu steigern und gleichzeitig den manuellen Arbeitsaufwand zu reduzieren. Dank der automatisierten Inspektionsmöglichkeiten können Anwender Oberflächenfehler, Partikel und Kratzer schnell und präzise erkennen und so die Qualität ihrer Produkte sicherstellen.