Gebraucht ASM TLB 139 #9299469 zu verkaufen

ASM TLB 139 ist eine leistungsstarke, vielseitige Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung. Es ist eine umfassende Lösung zur Charakterisierung von Defekten in Halbleiterproduktionsabläufen. Das System kann die Anomalien in Waferoberflächen schnell identifizieren und die Tiefe der gefundenen Defekte mit einem Langstreckenmikroskop messen. Darüber hinaus kann es die Dicke der für die IC-Produktion verwendeten Masken auf Waferebene messen. Mit einer hohen Vergrößerung von bis zu 2000x kann TLB 139 kleine Funktionen an den Masken und Wafern mit großer Präzision und Genauigkeit erkennen. Das Gerät ist mit zwei Bildkameras ausgestattet: einer Maskenkamera und einer Waferkamera. Die Maskenkamera ist für die hochauflösende Abbildung der Maske ausgelegt, während die Waferkamera mikroskopische Bilder der Defekte auf Waferoberflächen in einem großen Sichtfeld aufnimmt. Die Maschine bietet eine genaue Fehleranalyse mit integrierten optischen Mustererkennungsalgorithmen. Sie kann zwischen potenziellen Fehlern und falschen Positiven unterscheiden, indem sie zwischen dem Hintergrundsubstrat und den eigentlichen Merkmalen unterscheidet. ASM TLB 139 bietet eine Vielzahl von Betrachtungsmodi wie Polarisation, reflektiertes Licht und transmittiertes Licht. Durch diese verschiedenen Modi können Benutzer das Maskenmaterial beobachten und durch die Maske auf die darunterliegende Waferoberfläche sehen. Die Betrachtungsmodi des Werkzeugs können auch verwendet werden, um schwer erkennbare Merkmale auf einem hellen Substrat zu erkennen. Die automatische Fokuseinstellung kann für Makro oder Mikro verwendet werden, die sich auf ein bestimmtes Interessengebiet konzentrieren, und manuelles motorisiertes xy-Scannen kann verwendet werden, um die Mikroskopie in noch kleineren Schritten für eine detailliertere Inspektion genau zu bewegen. Das Modell ermöglicht eine intelligente und automatisierte Verwaltung der gesammelten Daten, die schnelle und einfache Analysen und den Austausch von Ergebnissen ermöglicht. Alle gesammelten Daten werden zur weiteren Überprüfung oder erweiterten Diagnose in einem gemeinsam genutzten Netzlaufwerk gespeichert. TLB 139 Masken- und Wafer-Inspektionsgeräte sind auch in der Lage, Makrofunktionen für die zukünftige Wiederverwendung oder Wiederholung mit verschiedenen Einstellungen zu laden und zu speichern. Dieses Merkmal macht das System für verschiedene Arten von Produktionslinien geeignet.