Gebraucht KLA / TENCOR / INSPEX TCP 8530M #136451 zu verkaufen

KLA / TENCOR / INSPEX TCP 8530M
ID: 136451
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Wafer inspection system, 8", 1996 vintage.
KLA/TENCOR/INSPEX TCP 8530M ist eine High-End-Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung entwickelt, um die Genauigkeit und Leistung der automatisierten Inspektionsprozesse zu maximieren. Das System besteht aus einem proprietären Satz von Software, Hardware, Optik und Detektoren. Dabei handelt es sich um eine innovative Inspektionseinheit, die zur Halbleiterschaltungsmasken- oder Waferdefektdetektion eingesetzt werden kann. KLA TCP 8530M Maske/Wafer Inspektionsmaschine bietet hochpräzise Inspektion mit vier optischen Werkzeugkonfigurationen, und ist entworfen, um die Zuverlässigkeit der Inspektionsergebnisse zu verbessern. Zu den vier Asset-Konfigurationen gehören ein Array mit zwei Matrizen, ein Array mit drei Matrizen, ein Array mit fünf Matrizen und ein Array mit neun Matrizen. Jede Konfiguration verwendet einen Satz hochpräziser Objektive, ein Punktmuster und einen Laserfleckbeleuchter. Darüber hinaus ist dieses Modell mit einem 4-CCD Abbildungsarray und einer Datenverarbeitungseinheit ausgestattet. TENCOR TCP 8530M verwendet fortschrittliche Bildverarbeitungsalgorithmen, um Fehlerstrukturen genau zu analysieren. Diese Algorithmen sind in der Lage, falsche Positive zu beseitigen, die durch zufälliges Rauschen entstehen können, wodurch unnötiges Nacharbeiten von Masken und Waferbildern verhindert wird. Diese Vorrichtung eignet sich insbesondere in der Halbleiterschaltungsmaskenindustrie bei der Inspektion von Masken, die mehrere Schichten von Schaltungen enthalten können. TCP 8530M zeigt eine Hochleistungsrohrleitungsarchitektur, ihm ermöglichend, gleichzeitig vielfache Felder der Ansicht mit der minimalen Bewegungskontrolle zu untersuchen. Dieses System ist auch in der Lage, Kratzer, dünne Linien und andere schwer erkennbare Defekte zu erkennen, so dass es für komplexe Masken- und Waferinspektionsprozesse geeignet ist. Weitere Merkmale sind eine hochpräzise Einfallswinkelansicht sowie ein bedienereinstellbarer Fokus, der eine verbesserte Positionierung und Fehlersichtbarkeit ermöglicht. INSPEX TCP 8530M ist für den Einsatz in der Wafer-Charakterisierung, Optimierung und Steuerung von Schichten für Halbleiterherstellungsprozesse konzipiert. Diese Einheit ist auch eine ideale Wahl für Chip-Designer, so dass sie ihre Designobjekte schnell und genau analysieren können. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, schnelle und genaue Diagnosen von Schweißfehlern zu erstellen, um sicherzustellen, dass das Produkt fehlerfrei ist. Damit ist KLA/TENCOR/INSPEX TCP 8530M ein wesentliches Werkzeug im Herstellungsprozess.
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