Gebraucht NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Q200i #9183432 zu verkaufen
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ID: 9183432
Overlay measurement system, 8"
Hardware configuration:
Main system:
Main body
PC Control console
SMIF System: (2) Indexers
Handler system:
Robot unit
Prealigner
CIM Linked
2000 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Q200i ist eine fortschrittliche und zuverlässige Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung. Das System ist für Serienanlagen konzipiert und liefert schnelle und genaue Ergebnisse. Es bietet Scanfunktionen bis zu 400mm Wafer Größe und eine breite Palette von Inspektionsoptionen von Pixel-Ebene zu Linie/Raum Layout. Die Basiseinheit besteht aus der Hauptsensorstufe, der Probenstufe, dem Computer und den Peripheriegeräten sowie der Steuerungssoftware. Die Hauptsensorstufe ist mit einer 5MP CCD-Kamera ausgestattet, die eine überlegene 6 μ m Pixelgröße bietet und eine präzise Registrierung der Wafer- und Maskenfehler ermöglicht. Die Probenstufe ist eine motorisierte Stufe mit einer geschlossenen Bewegungssteuermaschine, die bis zu 350mm/s Scangeschwindigkeit und einen X-Y-Weg von 400mm x 400mm liefert. ACCENT Q200i Steuerungssoftware nutzt die Leistung der Kamera, der Bühnen und anderer Hardwarekomponenten, um eine automatisierte Bildanalyse durchzuführen. Es arbeitet in Verbindung mit mehreren intelligenten Algorithmen, um lithographiebedingte Defekte und andere komplexe Muster schnell zu erkennen. Darüber hinaus weist es ein Würfel- und Heftwerkzeug zur Durchführung mehrerer Waferinspektionen sowie eine grafische Datenoberfläche zur Anzeige der Untersuchungsergebnisse auf. Das Asset ist auch kompatibel mit mehreren Drittanbieter-Mustererkennungssoftware, die genaue Ergebnisse und einen effizienten Inspektions-Workflow. Es ist auch für eine einfache Installation ausgelegt und erfordert einen minimalen Benutzereingriff während des Betriebs. Zusätzlich werden sein fortgeschrittenes Autofokusmodell, entfernte Überwachung und fakultative eingebaute Nebengeräuschannullierungshardware entworfen, um maximale Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu sichern. Abschließend ist BIO-RAD Q200i eine leistungsfähige, effiziente und zuverlässige Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für Serienanlagen. Das System ist mit einer 5MP CCD-Kamera, einer motorisierten Probenstufe und verschiedenen anderen Komponenten und intelligenten Algorithmen ausgestattet, um eine präzise Bildanalyse durchzuführen und komplexe lithographiebedingte Fehler zu erkennen. Außerdem ist es leicht zu installieren und bietet eine Vielfalt von Drittmusteranerkennungssoftwareoptionen für einen effizienten Schauarbeitsablauf an.
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