Gebraucht NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Q200i #9235490 zu verkaufen
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ID: 9235490
Weinlese: 2002
Overlay measurement system, 8"
EFEM
AC Rack
(3) Cartons
GENMARK Robot
Blade type: PE
Handler type: ARM
Per-aligner
Mini environment
(4) Wires + Ground
AC Distribution box
No transformer
No UPS
No heat exchanger / Chiller
No pump
Frequency: 50 / 60 Hz
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Full load amp: 20 A
Interrupting capacity: 14 kA
2002 vintage.
NANOMETRIE/BIO-RAD/ACCENT Q200i Masken- und Wafer-Inspektionsgeräte sind ein fortschrittliches Bildgebungssystem, das entwickelt wurde, um Fehler in allen kritischen Schichten integrierter Schaltungen während der Herstellung und Post-Lithographie-Prozesse zu identifizieren. Diese Einheit besteht aus einer hochauflösenden Wafer-Scan-Station, einer spezialisierten Wafer-Ausrichtmaschine, einem hochwertigen Bildgebungswerkzeug und einer umfassenden Softwareumgebung. Die Wafer-Scanstation ermöglicht das Scannen von bis zu acht Wafern mit Größen bis 200 Millimeter Durchmesser. Es wurde entwickelt, um hohe Geschwindigkeit und Genauigkeit zu liefern und gleichzeitig zuverlässige Ergebnisse in einer Vielzahl von Prozessbedingungen zu liefern. Zusätzlich enthält die Abtaststation auch einen hochdynamischen Abtastkopf zur überlegenen Erkennung kleiner Defekte. Das Wafer-Alignment-Asset umfasst ein hochpräzises, automatisiertes Ausrichtungsmodell, das die Registrierung von großen und kleinen Wafern ermöglicht. Diese Ausrüstung ist in der Lage, Submikron-Ausrichtungsgenauigkeit, so dass qualitativ hochwertige Ergebnisse während der Maske und Wafer Inspektion Prozess. Das bildgebende System ist mit einer hochauflösenden Hochgeschwindigkeitskamera ausgestattet, die scharfe und kontrastreiche Bilder mikroskopischer Muster liefert. Dadurch können auch kleinste Defekte in den integrierten Schaltungen erkannt werden. Die hohe Geschwindigkeit dieser Abbildungseinheit sorgt dafür, dass sie hochauflösende Bilder zeitnah aufnehmen kann. Die Softwareumgebung der ACCENT Q200i Maschine bietet eine umfassende Palette von Werkzeugen für die Inspektion und Analyse von Masken und Wafern. Es bietet eine Vielzahl von erweiterten Bildverarbeitungsfunktionen wie Fehlerverbesserung, Bildmosaikierung, Filterung und Kantenschärfung. Darüber hinaus kann es maskenschichtabhängige Prozessfensterkriterien für die Analyse von Mustern sowie umfangreiche Datenanalyse- und Berichtsfunktionen generieren. Durch die Kombination von Hard- und Softwaretechnologien bietet das BIO-RAD Q200i Tool eine umfassende Lösung für die Masken- und Waferinspektion. Es wurde entwickelt, um höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu erreichen und ermöglicht einen schlanken Inspektionsprozess, der die Prozesszykluszeit verkürzen und die Erträge verbessern kann. Als einer der Branchenführer im Bereich der Masken- und Wafer-Inspektionstechnologien ist Q200i Asset die perfekte Wahl für jedes Verfahren zur Herstellung integrierter Schaltungen und zur Nachlithographie.
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