Gebraucht NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Quaestor Q7 #9112912 zu verkaufen
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ID: 9112912
Wafergröße: 8"
Wafer inspection system, 8"
CMC Servo Motor: MT2115-014DF
KLK A-10
Xenon Lamp: X58000000, 110V, 50Hz
Control Station: Q7, 110VAC, 50/60Hz.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Quaestor Q7 ist eine führende Kantenmaske und Wafer-Inspektionsausrüstung, die für eine kostengünstige Prozesssteuerung, Ertragsverwaltung und Fehlererkennung in der Halbleitermasken- und Waferherstellung entwickelt wurde. Das System verwendet fortgeschrittene optische Techniken, um Fehler auf der Oberfläche von Masken und Wafern zu erkennen und zu analysieren, sodass Prozessingenieure Probleme schnell erkennen und korrigieren können, die die Produktion und den Ertrag behindern könnten. Die Q7-Einheit verwendet eine monolithische optische Maschine, die aus vier verschiedenen Subsystemen besteht: Beleuchtung, Bildgebung, Optik und Detektion. Dieses Tool wurde entwickelt, um eine optische Auflösung über die Exabits hinaus zu erreichen, was einen deutlichen Vorteil gegenüber herkömmlichen bildgebenden Systemen bietet. Die glasfaserbasierte Beleuchtungseinrichtung ermöglicht eine Lichtgleichmäßigkeit über den vollständigen Scan der Maske oder des Wafers. Das bildgebende Teilsystem bietet hochauflösende bildgebende Funktionen ohne die Unschärfe oder Verzerrung herkömmlicher optischer Systeme und erfasst selbst kleinste Fehler genau. Das Optikmodell Q7 arbeitet in einer linearen oder divergierenden Geometrie und bietet eine höhere Genauigkeit und ein größeres Sichtfeld für präzise Fehlererkennung und -messung. Letzt verwertet das Entdeckungssubsystem einen Entdeckungsalgorithmus von Architecture Mark-To-Scape, um Anomalien und Defekte auf der Oberfläche schnell zu entdecken. Die Funktionen des Q7 gehen über die einfache Erkennung von Defekten hinaus. Um das Testen und die Datenanalyse zu erleichtern, verfügt das Gerät über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der Benutzer die Einstellungen des Systems steuern und konfigurieren können, und bietet eine umfassende Palette von Mess- und Analysetools, mit denen Sie minimale Unvollkommenheiten und Trendanalysen erkennen können. Das Q7 ist auch mit einer automatisierten Messeinheit (AMS) ausgestattet, die Prozessingenieuren die Möglichkeit bietet, große Datensätze mit hoher Genauigkeit zu sammeln. Anhand dieser Daten kann die Wirksamkeit von Fertigungsprozessen beurteilt, Wafer verfolgt und Trends in Produktionsdaten identifiziert werden. Diese Daten können über USB oder Ethernet hochgeladen werden, so dass große Datenmengen einfach gespeichert und analysiert werden können. Das Q7 ist wartungsarm und sehr geschickt in der Bereitstellung großer Datenmengen in einem kleinen Platzbedarf. Seine erweiterten optischen Fähigkeiten eignen sich sowohl für ausgereifte Lösungen als auch für Entwicklungsprozesse zur Herstellung von Sub-4nm-Knoten, wodurch minimale Ausfallzeiten und erhöhte Erträge gewährleistet sind.
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