Gebraucht NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Quaestor Q8 #9229790 zu verkaufen
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ID: 9229790
Wafergröße: 8"
System, 8"
Control unit
Fully robotic with random access
Pick and place
(2) Cassette user programmable wafer handlers
X / Y Stage controlled:
Toothed belts to frictionless ball screws & linear roller bearings
PEEK FPAS Pre-aligner:
Non-edge contact
Flat and notch detection
Z-Stage movement: Linear direct drive DC torque motor
Interfacing hardware upgrade with AGV
Wafer cassette audit capability
JFDI Optics module
DC Servo motor alignment
Motorized pinhole
Xe Arc lamp illumination
FPAS Linear arm
Transfer arm
Stage top plate
26 Slot flipper upgraded kit.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Quaestor Q8 ist eine Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung entwickelt, um geätzte Masken und Wafer in der Photolithographie verwendet zu überprüfen. Das System ist mit einer 8-Zoll-Wafergröße unterstützten Kammer gebaut, die eine hochvergrößerte Abbildung von Masken und Wafern ermöglicht. Es verfügt über ein Dual-Unit-Design, das zwei komplette Systeme in einer Kammer ermöglicht, mit Fab 2, optisch korrekten, achromatischen Objektiven, die Verzerrungen reduzieren und ein hochwertiges Bild aus der höchsten Auflösung und dem besten verfügbaren Kontrast erzeugen. Die Optik von ACCENT Quaestor Q8 ist optimiert, um die Bildgebung und Detektierbarkeit von Merkmalen jeder Größe, Form, Material und Orientierung in jeder Art von Maske oder Wafer ohne Verzerrung zu maximieren. Es verfügt über eine 5-Achsen-Hybrid-Translations-/Rotationsstufe, die uneingeschränkte Bewegungen ermöglicht, die die Inspektion von überdimensionalen Wafern oder solchen mit sehr komplexen Geometrien ermöglichen. Die Maschine ist mit einem Paar Dalsa 4 Megapixel Monochrom-Kameras ausgestattet, die Bilder von großen Bereichen mit einer Vielzahl von Lichtquellen einschließlich LED und Halogen aufnehmen. Die Kameras unterstützen auch funktionsreiche Software, mit der Benutzer Anomalien oder Fehler messen, dokumentieren und berichten können. BIO-RAD Quaestor Q8 beherbergt ein anspruchsvolles Hard- und Software-Tool, das seine Leistung und Genauigkeit bei der Analyse einer bestimmten Maske oder Wafer maximiert. Es wurde entwickelt, um eine automatische Bilderfassung, Produktausrichtung, Fehlererkennung und Klassifizierung zu ermöglichen. Es enthält leistungsstarke Algorithmen zum Segmentieren, Vergleichen und Analysieren von Daten wie die Anzahl der fehlenden/hinzugefügten Funktionen, Verringern der Fehleranalyse und Reduzieren von Falsch-Positiven. Das Asset verfügt auch über Musterabstimmungsfunktionen, mit denen Benutzer Muster zwischen verschiedenen Masken oder Wafern sofort erkennen und vergleichen können, sowie die Möglichkeit, Bilder im Querschnitt für eine verbesserte Analyse anzuzeigen. Insgesamt bietet NANOMETRICS Quaestor Q8 ein umfassendes Inspektionsmodell für die Masken- und Waferanalyse. Seine fortschrittliche Optik wurde entwickelt, um die höchste Qualität und genaueste Bildgebung zu gewährleisten, während seine anspruchsvolle Hard- und Softwareausrüstung ein hohes Maß an Automatisierung und Präzision gewährleistet. Diese Funktionen ermöglichen es Benutzern, Anomalien auf jeder Art von Maske oder Wafer schnell und einfach zu erkennen und zu klassifizieren.
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