Gebraucht ADT 977 #293621315 zu verkaufen

ADT 977 Wafer Processing Equipment ist ein leistungsstarkes, automatisiertes System, das speziell für den Transport und die Bearbeitung von Wafern unterschiedlicher Größe und Dicke entwickelt wurde. Die Einheit besteht aus einer Portalfördermaschine, einer Ruhehaube, einer Ladeschleuse, mehreren Prozesskammern und einer Ladeanschlusskammer. Das Transportwerkzeug wird durch eine Kombination aus xy-Tisch-Antrieb und Linearmotor-Technologie angetrieben, die eine präzise Steuerung der Substratpositionierung und eine präzise, schnelle Bewegung von Substraten von Kammer zu Kammer ermöglicht. Die Ruhehaube beherbergt ein Gasverteilnetz mit mehreren Massenstromreglern zur präzisen Steuerung des Prozesses und der Reinigungsgase. Ein Hochleistungs-Wafer-Spannfutter ist in das Asset integriert, und eine Auswahl an Vakuum oder atmosphärischer Spannung kann basierend auf der Anwendung festgelegt werden. Das mit kristallisierten Graphitecken ausgelegte beheizte Lastschloß verfügt sowohl über ein manuelles Schaltventil als auch über ein automatisiertes Schieberventil zur präzisen Steuerung und schnellen Umschaltung des Drucks in der Kammer. Die Kammern von 977 sind hoch konfigurierbar, in der Lage, eine Vielzahl von verschiedenen Prozessen durchzuführen, einschließlich Abscheidung, Ätzen, Abheben, Oxidation, Implantation und Reinigung. Die Prozessmodule können alle an das Hauptsteuermodell angeschlossen werden, was eine genaue Einstellung von Druck, Temperatur und anderen Parametern ermöglicht. Die Ladeanschlusskammer ist mit einem sauberen, automatisch gesteuerten Transferanschluss ausgestattet, der einen kontrollierten Zugang zu den Prozesskammern ermöglicht. ADT 977 umfasst auch Videoüberwachung, eine automatisierte Rezeptfähigkeit und eine umfassende Benutzeroberfläche, die eine einfache und intuitive Bedienung der Prozesse ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen Not-Aus-Knopf, eine globale Abschaltbarkeit, Verriegelungsschalter und integrierte Sicherheitsfunktionen, die einen optimalen Schutz vor unerwarteten Zwischenfällen und möglichen Unfällen bieten. 977 Wafer Processing System bietet eine kostengünstige Lösung für die automatisierte Handhabung, den Transport und die Verarbeitung von Wafern. Es ist eine zuverlässige, einfach zu bedienende Einheit, die für eine Vielzahl von Anwendungen in der Mikroelektronikindustrie geeignet ist.