Gebraucht AIT VRS-150 #293648371 zu verkaufen

AIT VRS-150 ist eine vielseitige und zuverlässige Waferbearbeitungsanlage, die den Anforderungen der anspruchsvollsten Halbleiteranwendungen gerecht wird. Dieses System umfasst eine vollautomatische Transferstation sowie einen hochmodernen Roboterarm, mit dem jeder Wafer durch seine verschiedenen Prozessstufen leicht manipuliert werden kann. Die Robotik-Einheit wird durch mehrere Vision-Systeme verstärkt, die proprietäre Algorithmen nutzen, um den gesamten Fortschritt von Chip und Wafer zu überwachen. VRS-150 können eine breite Palette von Wafergrößen und -typen verarbeiten, darunter 8-Zoll und 12-Zoll-Wafer. Es kann auch einen Bereich von Waferdicken von 75 bis 300 μ m aufnehmen. Diese Maschine hat auch eine maximale Wafertemperatur von bis zu 175 ° C, was perfekt für Anwendungen ist, die Glühen oder andere Hochtemperaturbehandlungen benötigen. Der Controller des Tools ist eine IBM-kompatible CPU mit zwei Laufwerken sowohl für die Onboard-Wafer-Handling-Software als auch für die globalen Spezifikationspaketprogramme. Das Paketprogramm ermöglicht die benutzerdefinierte Konfiguration von Parametern für jeden Schritt im Prozess, mit manueller und automatischer Steuerung verfügbar. Der Controller ist ferner in der Lage, Online-Überwachung und -Steuerung, Anpassungen der Prozessorleistung sowie Alarme und Fehlerprotokollierung (in Echtzeit). AIT VRS-150 hat auch eine Vielzahl von Prozess-Tools zur Verfügung. Zu diesen Werkzeugen gehören Trockenätzbeschleuniger, CVD-Öfen (Chemical Vapor Deposition), Öfen und eine Vielzahl von Wafer-Reinigungswerkzeugen. Jedes Werkzeug soll nicht nur qualitativ hochwertige Produkte produzieren, sondern auch das Kontaminationsrisiko minimieren. Die CVD-Öfen sind weiter optimiert, um ein Niederdruckverfahren mit niedriger Temperatur bereitzustellen, ideal für Hochleistungskomponenten. Insgesamt ist VRS-150 ein hochentwickeltes und vielseitiges Wafer-Processing-Asset. Der einfach zu bedienende Controller, die automatisierte Transferstation, der robuste Roboterarm und die Vielzahl an High-Tech-Prozesswerkzeugen machen ihn zur perfekten Wahl für eine Vielzahl von Hochleistungs-Halbleiteranwendungen.