Gebraucht AIT VRS-150 #293648374 zu verkaufen

AIT VRS-150 ist eine fortschrittliche andere Waferbearbeitungsausrüstung, die für Projekte mit hohem Volumen mit Submikron-Präzision entwickelt wurde. Das System ist für die Handhabung von Wafern mit bis zu 150 mm Durchmesser ausgelegt und kann eine Vielzahl von Materialien verarbeiten, einschließlich Silizium und organischen Materialien. Das Gerät verwendet eine mehrachsige Roboterpositioniermaschine, die eine XYZ-Positioniergenauigkeit von ± 1,5 μ m bietet, die sich über einen Gesamtbereich von 45mm x 45mm x 10mm bewegt. Dies gewährleistet eine präzise Platzierung jedes Wafers und sorgt für konsistente Verarbeitungsergebnisse. Das Tool beinhaltet ein integriertes Vision-Asset, das feine geometrische Merkmale bis zu 6 μ m erkennt und lokalisiert. Dies ermöglicht sowohl eine hohe Genauigkeit als auch eine ultraschnelle Verarbeitung. Darüber hinaus ist das Modell für die einfache Integration mit anderen Waferbearbeitungssystemen konzipiert. VRS-150 verwendet feine Maschinenkomponenten, um eine robuste und zuverlässige Leistung zu gewährleisten. Die Ausrüstung besteht aus zwei Hauptabschnitten. Der erste Abschnitt ist der Hauptprober, der für die automatisierte Handhabung und Platzierung von Wafern konzipiert ist. Dieser Abschnitt ist mit einer Vakuumleitung zur Unterstützung beim Be- und Entladen von Wafern ausgestattet. Der zweite Abschnitt ist die Passivierungskammer, in der die Wafer einer Reinigung, Oxidation und anderen Behandlungsprozessen unterzogen werden. AIT VRS-150 verfügt über ein automatisches Vakuumsystem, das bei jedem Prozessschritt eine kontrollierte Vakuumkraft ermöglicht. Es enthält auch eine „Düsenausstoßeinheit“, die eine vollständige Waferentfernung nach jedem Prozessschritt gewährleistet. Es hat auch leicht einstellbare Prozessparameter für verschiedene Materialien und Anwendungen. Die Maschine verfügt über eine Reihe von Sensoren und Sicherheitsfunktionen, um Bedienungsfehler zu reduzieren, den Durchsatz zu erhöhen und die Lebensdauer des Werkzeugs zu verlängern. Viele der Komponenten sind kompakt und somit ideal für die kostengünstige Verarbeitung von Wafern mit hohem Durchsatz. Das Modell verfügt über leicht einstellbare Lichtquellen für eine Reihe von Wafergrößen und -dicken mit einer automatisierten Reinigungsausrüstung sowohl für die Roboter- als auch für die Proberstufe. Darüber hinaus ist das System so konzipiert, dass es in einer kontrollierten Atmosphäre unter rauen Bedingungen arbeitet, um konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. VRS-150 ist eine fortschrittliche andere Wafer-Verarbeitungseinheit mit vielen Funktionen, die für hohe Genauigkeiten in Anwendungen mit hohem Volumen entwickelt wurden. Sein mehrachsiger Roboter und seine integrierten Sichtfunktionen bieten Sub-Mikron-Präzision, während die Vakuummaschine und die Düsen ein automatisiertes Wafer-Handling bieten. Das Werkzeug ist für niedrige Kosten und längere Lebensdauer ausgelegt. Darüber hinaus bietet das Spektrum an Sensoren und Sicherheitsfunktionen eine einfach zu bedienende, sichere und zuverlässige Ausstattung.