Gebraucht AIWA AU-501CO #9261216 zu verkaufen

AIWA AU-501CO ist eine vielseitige und leistungsstarke Waferbearbeitungsanlage, die den Anforderungen der fortschrittlichen Halbleiterbauelementherstellung gerecht wird. Unter Verwendung eines einzigartigen modularen Designs ist AU-501CO in der Lage, eine Vielzahl von Prozessen durchzuführen, einschließlich Ätzen, Sputtern, Abscheiden, Oxidation, Photolithographie und Photoresist-Strippen. Das System kann auch für eine Reihe anderer Hilfsprozesse wie Proximity Effects Correction (PEC), Edge Isolation (EI), Particle Interference Containment (PIC) und Diffusion Prevention (DP) verwendet werden. AIWA AU-501CO verwendet einen hochpräzisen Kernmotor, der eine Vielzahl von Wafergrößen mit einer Mindestwafergröße von 4 Zoll verarbeiten kann. Der hochpräzise Kernmotor ermöglicht präzise Wafer-zu-Wafer-Bewegungen mit Wiederholbarkeit von ± 2um und Drehgenauigkeit von ± 1 °. Das Gerät bietet zudem eine umfassende Palette programmierbarer Prozessparameter, die einen vollautomatischen Betrieb der Maschine ermöglichen. AU-501CO verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Steuerungssysteme, die eine erweiterte Kontrolle und Überwachung von Prozessen bieten. Herzstück ist das Automated Process Control and Monitoring Tool (APCMS), das eine Reihe von Funktionen wie Wafer Load Diagnostics, Prozessablaufeinstellungen, Alarme & Monitoring und Fehlererkennung & Isolation bietet. Das Asset verfügt zudem über ein leistungsstarkes Datenerfassungs- und Prozessanalysemodell, das bis zu 4 GB Gerätedaten speichern kann. AIWA AU-501CO bietet eine Reihe benutzerfreundlicher Funktionen, einschließlich einer grafischen Benutzeroberfläche, die eine visuelle Bestätigung von Prozessablaufdaten ermöglicht. Dieses Gerät enthält auch eine automatische Stop-at-Error-Funktion, die eine schnelle Wiederherstellung im Falle eines Prozessausfalls ermöglicht. Zusätzlich ist eine Rezept-Ersatzalarm-Funktion verfügbar, mit der Benutzer Komponenten problemlos austauschen können, ohne das gesamte System zurücksetzen zu müssen. Insgesamt ist AU-501CO eine fortschrittliche und zuverlässige Halbleiterbauelementverarbeitungseinheit, die in der Lage ist, die anspruchsvollsten Anforderungen der fortschrittlichen Halbleiterbauelementherstellung zu erfüllen. Die Maschine nutzt einen modularen Aufbau, der eine effiziente und präzise Prozesssteuerung und -überwachung ermöglicht, während eine breite Palette von benutzerfreundlichen Funktionen das Werkzeug auch für nicht-fachkundige Anwender einfach zu bedienen macht.