Gebraucht AKT / MKS Astron HF #293608419 zu verkaufen

AKT/MKS Astron HF ist eine High-End-Waferbearbeitungsanlage und eines der führenden Werkzeuge für die Erstellung einer Vielzahl von Wafer-basierten Produkten. Dieses System bietet einen vollautomatischen Prozess für Wafer aller Größen und Dicken in Anwendungen wie Hochtemperaturoxidation, epitaktisches Wachstum und Geräteherstellung. Das Gerät bietet computergesteuerte, hochpräzise und wiederholbare Verarbeitungsbedingungen mit schnellen Zykluszeiten und verbessert den Durchsatz um bis zu 30%. AKT Astron HF wurde entwickelt, um die Waferprozessfunktionen durch eine integrierte Umgebung für automatisierte Prozessschritte und komplexe Betriebsparameter zu erweitern. Die Maschine ist mit Optionen ausgestattet, die schnelles Glühen, variable Pumpgeschwindigkeit, volle Strömungssteuerung und schnelle Druckstabilisierung umfassen. Darüber hinaus verfügt es über Vorwärmen und Abkühlen auf die gewünschte Temperatur im Bereich von 250 - 800 ° C, was verbesserte Oxidbildungsraten ermöglicht. Die digitalen Boards des Werkzeugs sind mit PID-Reglern ausgestattet, um die volle Kontrolle über Temperatur und Druck zu gewährleisten. Darüber hinaus kann dieses Gut mit anderen Geräten wie ICP-Tools für eine höhere Steuerbarkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Waferbearbeitung integriert werden. MKS Astron HF beinhaltet ein Wafer-Handhabungsmodell zur Übertragung von Wafern zwischen der Prozesskammer und der Ladeschloßkammer, das ein sicheres Be- und Entladen und Handling ermöglicht. Es enthält auch eine programmierbare automatische Endpunkterkennung, die volle Flexibilität bietet. Darüber hinaus gehören zu den Sicherheitsmerkmalen dieses Systems Druckverriegelungen und Übertemperaturschutz. Es verfügt auch über eine In-situ-Reinigungsfähigkeit, die eingerichtet werden kann, um jeden Wafer einzeln zu reinigen, wodurch das Risiko einer Kontamination reduziert wird. Das Gerät unterstützt auch eine Reihe von Rezepturformaten und ermöglicht es dem Bediener, sowohl die Prozessparameter als auch die Durchflussregelungsvariablen zu steuern. Zusätzlich können die von der Maschine erzeugten Daten verwendet werden, um die Prozessbedingungen und Zykluszeiten zu verfolgen und zu überwachen. Insgesamt bietet Astron HF alle Funktionen und Funktionen, die für die Handhabung von Wafern für eine Vielzahl von Wafer-basierten Prozessen erforderlich sind. Dieses Tool bietet eine verbesserte Temperaturleistung und Genauigkeit mit einem verbesserten Prozessdurchsatz und gewährleistet zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse. Es ist eine ideale Wahl für Ingenieure und Forscher, die effiziente und hoch kontrollierbare Waferbearbeitungslösungen benötigen.