Gebraucht AQUEOUS TECH AQ 201SC #293590741 zu verkaufen

WEOUS TECH AQ 201SC ist eine hochmoderne andere Waferbearbeitungsanlage, die für die großtechnische Herstellung komplexer Halbleiterbauelemente wie System-on-Chip (SoC) -Bauelemente, Logikbauelemente und heterogene Bauelemente entwickelt wurde. AQ 201SC ist eine vollautomatische Einzelwafereinheit, die eine Reihe von Prozessen für eine Vielzahl von Wafergrößen durchführen kann. Es ist auch in der Lage, verschiedene Substrattypen unterzubringen, einschließlich Galliumarsenid (GaAs) und Silicon on Insulator (SOI). Die Kernkomponenten der Maschine bestehen aus einem Nassverarbeitungsmodul, einem Trockenbearbeitungsmodul, einem Reinraummodul und einer Ladefläche. Das Nassverarbeitungsmodul ist in der Lage, eine Vielzahl von Operationen durchzuführen, einschließlich Entgasung, Oxidation und Ätzen, Diffusion, Nassreinigung und chemische Reinigung. Das Trockenbearbeitungsmodul ist in der Lage, chemisch-mechanisches Polieren (CMP) und andere trockenchemische Prozesse durchzuführen. Das 4-stufige Reinraummodul nutzt HEPA-Filtration, um Sauberkeitsstandards für die Produktion aufrechtzuerhalten und verfügt auch über ein fortschrittliches chemisches Rezept-Management-Tool für die Nass- und Trockenbearbeitung. Dies ermöglicht eine schnelle Optimierung der Rezepturen bei minimalem Eingriff des Prozessbetreibers. Darüber hinaus ermöglicht eine automatisierte Materialverladung eine sichere und genaue Materialhandhabung. AQUEOUS TECH AQ 201SC verfügt über erweiterte Visualisierungs- und Datenerfassungstools, wie den Process Analyzer und den Modellmonitor. Diese Tools ermöglichen es dem Benutzer, die Leistung der Geräte in Echtzeit zu verfolgen und zu überwachen, was eine sofortige Prozessoptimierung und Fehlerbehebung ermöglicht. Um den unterschiedlichen Verarbeitungsbedürfnissen für eine Vielzahl von Wafergrößen gerecht zu werden, umfasst das System verschiedene Zubehörteile, wie einen austauschbaren Prozessrahmen, Spannfutter und eine Reihe von Prozesskammern. Darüber hinaus können AQ- 201SC an andere Produktionssysteme wie Photolithographiesysteme, CMP-Systeme und RTP-Systeme angepasst werden. Schließlich ist die AQUEOUS TECH AQ 201SC energieeffizient und erfüllt die höchsten Industriestandards und Umweltvorschriften. Damit ist sie eine perfekte Lösung für die Serienfertigung und die anspruchsvollen Anforderungen moderner Halbleiteranwendungen.