Gebraucht AQUEOUS TECH AQ 300 #9165985 zu verkaufen

AQUEOUS TECH AQ 300 ist eine fortschrittliche andere Waferbearbeitungsanlage, die speziell für Forscher und Ingenieure in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das System ist für in-situ und schnelle thermische Prozesse in einer geschlossenen Umgebung konzipiert. AQ 300 bietet eine vielseitige Lösung für verschiedene Abscheideprozesse, Waferreinigung und Resistbeschichtung. WÄSSRIGE TECH AQ 300 ist in der Lage, Wafer bis 300mm Durchmesser zu handhaben und bietet eine maximale Kammertemperatur von 1100 ° C. Für Reinigungs- und Reinigungsanwendungen verfügt AQ 300 über eine 6-Gas-Mischeinheit, die Stickstoff, Sauerstoff, Argon, Wasserstoff, Helium und Xenon liefern kann. Für Abscheidungsanwendungen umfasst die Maschine vielseitige Hardware für das Wachstum verschiedener Materialien wie amorpher Kohlenstoff, Niob, Titannitrid, Aluminiumnitrid und Siliziumnitrid. AQUEOUS TECH AQ 300 ist kompatibel mit mehreren Softwareplattformen, darunter MACThermalX, MACThermalGrowthManager, MACThermalTR und MACThermalSC für Temperatur, Geschwindigkeit und andere Prozesskontrollgenauigkeit. Die Vorrichtung weist drei unabhängige Prozesskammern auf; eine obere Kammer zum Abscheiden, eine untere Kammer zum Entgasen und Reinigen und eine unabhängige Probenkammer zum Einspannen von Wafern. Jede Kammer ist mit einem hochpräzisen Quarzverschlussventil und einem Drucksensor zur Überwachung der Drücke von 10 ^ -2 bis 10 ^ -5 Torr ausgestattet. Für eine verbesserte Anlagen- und Prozessautomatisierung integriert AQ 300 digitale Prozesssteuerungen, Automatisierungssteuerungen und Sicherheitssysteme. Es verfügt über eine breite Palette von vielseitigen eingebetteten Sensoren und Steuerungssystemen zur Überwachung der Prozessparameter wie Temperatur, Druck, Gasgehalt und Zeit. Darüber hinaus bietet es ein eingebettetes TDLAS-Tool zur Aufrechterhaltung der Qualitätssicherung. AQUEOUS TECH AQ 300 ist ein vielseitiges Komplettvermögen, das speziell für anspruchsvolle Prozesse in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ist speziell für Forscher und Ingenieure der Halbleiterindustrie konzipiert und nutzt die neueste Technologie für eine schnelle thermische Verarbeitung und Prozesskontrollgenauigkeit. Das High-End-Modell bietet branchenübliche fortschrittliche Technologien für verbesserte Automatisierung und Sicherheit.