Gebraucht AQUEOUS TECH AQ 400CL #9032311 zu verkaufen

Die WEOUS TECH AQ 400CL ist ein Waferbearbeitungssystem der nächsten Generation, das für die automatische Reinigung und Trocknung von Wafern mit hohem Durchsatz ausgelegt ist. Es wird von AQUEOUS TECH proprietären Cloud-Ready Platform angetrieben, die Cloud-basierte SOPs, Datenerfassung und Fernüberwachung und -kommunikation verwendet. Mit einem modularen Aufbau mit vier Verarbeitungsmodulen eignet sich die AQUEOUS TECH AQ 400/CL ideal für die Serienproduktion unterschiedlichster Substrate, von Mainstream-Halbleitern über MEMS, MEMS-A, Mikrofluidik bis hin zu zahlreichen anderen Anwendungen. Der modulare Aufbau des AQ 400CL ermöglicht maximale Vielseitigkeit, Kompatibilität und Flexibilität. Die vier integrierten Module Prozessmodul, Sauberes Modul, Luftreinigungsmodul und Kammersteuerungsmodul bieten vielfältige Möglichkeiten. Das Prozessmodul bietet erweiterte Wafervorbereitung, Nassverarbeitung und Materialtransfer, während das saubere Modul Reinigung, Trocknung und nichtflüchtige Ablagerung bietet. Das Luftreinigungsmodul bietet eine Spül-, Spül- und Entlüftungszyklusunterstützung sowie eine luftdichte Abdichtung, während das Kammersteuerungsmodul Teilkammern steuert. Die Cloud-Ready-Plattform von AQ 400/CL unterstützt Betreiber bei der Remote-Programmierung, Überwachung und Fehlerbehebung für Hardware und Software. Durch wiederholtes Feature-to-Process-Matching, Multi-Location-Monitoring und die gleichzeitige Ausführung verschiedener Software-Konfigurationen und -Operationen können Benutzer Daten sammeln, um Operationen zu verbessern und Verarbeitungszeit bis zu 50% zu sparen. Die Plattform bietet auch Remote-SOPs, Dokumentation und eine vollständige Suite von Diagnoseberichten. Zusätzlich zu seinen vier Verarbeitungsmodulen verfügt die AQUEOUS TECH AQ 400CL über eine Vielzahl von Funktionen, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Es verfügt über ein PTFE beschichtetes, chemisch zunehmendes Kammerdesign zur Unterstützung der Nassverarbeitung in einer Vielzahl von Chemikalien sowie ein vollautomatisiertes sauberes Entladesystem. Seine In-situ-Kammerreinigung fungiert als selbstreinigender Kreislauf und hilft bei der Aufrechterhaltung von Prozessen innerhalb enger Reinraumstandards. Darüber hinaus ist es mit automatisierter Wafer-Kalibrierung für genaue und zuverlässige Wafer-Tracking und Handhabung ausgestattet. Insgesamt ist WÄSSRIGE TECH AQ 400/CL das ultimative Reinigungs- und Trocknungssystem mit hohem Durchsatz. Mit seiner Cloud-Ready Platform und einer Vielzahl von Funktionen und Funktionen ermöglicht es den Betreibern, Prozesse zu optimieren und den Durchsatz für die Waferverarbeitung zu erhöhen.