Gebraucht AQUEOUS TECH AQ 7 #9165986 zu verkaufen
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Die WEOUS TECH AQ 7 ist eine andere Waferbearbeitungsanlage, die auf die Anforderungen der hochpräzisen und ertragsstarken Verarbeitung in der Halbleiterindustrie ausgelegt ist. Das System unterstützt 300mm Wafer und kann bis zu 200 Wafer in 24 Stunden verarbeiten, wobei die Genauigkeit von 1 Mikron oder weniger erreicht wird. AQ 7 ist eine vollautomatische Einheit mit integrierten Software- und Hardwarefunktionen, die eine schnelle und zuverlässige Verarbeitung einer Vielzahl von Waferprozessen ermöglicht. Es kombiniert sowohl nasse als auch trockene Prozesse, um eine effiziente und wiederholbare Ausführung einer Vielzahl von Prozessaufgaben zu ermöglichen. WÄSSRIGE TECH AQ 7 enthält ein Prozessmodul, das sowohl nasse als auch trockene Prozesse bedienen kann. Sie umfasst eine Ätzmaschine, die zum Ätzen und Formen von Oberflächen chemisches/Plasmaätzen verwendet, und ein Dampfphasenabscheidungswerkzeug zur konformen Beschichtung und Dünnschichtabscheidung. AQ 7 verfügt auch über einen Spin-Spültrockner, der zum Spülen und Trocknen von Wafern verwendet wird. Ein Massenstromregler und ein Vakuumkühler sind enthalten, um genaue Umgebungsbedingungen für den gewünschten Waferprozess bereitzustellen. Der AQUEOUS TECH AQ 7 beinhaltet auch die hochmoderne AQ 8 Überwachungsanlage, mit der Anwender das gesamte Verarbeitungsmodell in Echtzeit überwachen und steuern können. Die Überwachungsausrüstung umfasst Online-Prozessrezepte und Rezept-Management-Funktion, um sicherzustellen, dass Prozessparameter immer auf dem höchsten Niveau der Genauigkeit gehalten werden. Um eine sichere, zuverlässige und wiederholbare Waferbearbeitung zu gewährleisten, enthält AQ 7 mehrere Sicherheitsmerkmale. Dazu gehört eine Systemselbstdiagnosefunktion, die es Anwendern ermöglicht, leicht auf anormale Zustände während des Einheitsbetriebs zu überprüfen. Eine eingebaute Kühler-Sicherheitsmaschine sorgt dafür, dass die Temperatur des Kühlers die Solltemperatur nie überschreitet. Das Tool umfasst auch eine eingebettete Sicherheitsanlage und mehrere Zertifizierungen, einschließlich CE und ATEX, um Sicherheit und Leistung in gefährlichen Umgebungen zu gewährleisten. Schließlich bietet WÄSSRIGE TECH AQ 7 eine breite Palette von Betriebsarten (nass, trocken oder beides). Auf diese Weise können sich Anwender leicht an unterschiedliche Bedingungen anpassen, wie sie in verschiedenen Produktionsläufen oder Produktionslinien auftreten können. Es enthält auch eine erweiterte Benutzeroberfläche und Berichtsfunktionen, mit denen Benutzer ihren Fortschritt während der Modellnutzung einfach überwachen und verfolgen können. Insgesamt ist AQ 7 eine erstklassige Waferbearbeitungsanlage, die den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Das System bietet hohe Genauigkeit, hohen Durchsatz und zuverlässigen Betrieb in einer Vielzahl von Anwendungen. Es bietet auch mehrere Sicherheitsfunktionen für zusätzliche Benutzersicherheit und ist für den Einsatz in gefährlichen Umgebungen zertifiziert.
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